特許

J-GLOBAL ID：200903030796331633

水素ガス検知材とその被膜方法

発明者： 高野 勝昌 ,  山本 春也 ,  井上 愛知 ,  杉本 雅樹 ,  吉川 正人
出願人/特許権者： 独立行政法人 日本原子力研究開発機構
代理人 (6件)： 社本 一夫 ,  小野 新次郎 ,  小林 泰 ,  千葉 昭男 ,  富田 博行 ,  桜井 周矩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-102809
公開番号（公開出願番号）：特開2007-278744
出願日： 2006年04月04日
公開日（公表日）： 2007年10月25日
要約：

【課題】水素を含んだ雰囲気に曝されると、光の吸収特性が変化する水素ガス検知材とその被膜方法を提供する。【解決手段】水素を含んだ雰囲気に曝されると、光の吸収特性が変化する水素ガス検知材とその被膜方法は、(1)上記水素ガス検知材の主成分が酸化タングステンである、(2)上記酸化タングステンの表面上にパラジウムが堆積されている、(3)上記酸化タングステンは、酸素の圧力を制御したスパッタリング法により基材に被膜される、(4)酸化タングステン被膜時の基材温度が室温(20°C)で被膜されることを特徴とする。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

主成分が酸化タングステンであり、その形状が薄膜である水素ガス検知材。

IPC (5件)：

G01N 31/00 ,  G01N 31/22 ,  G01N 31/10 ,  G01N 21/77 ,  G01N 21/78

FI (7件)：

G01N31/00 C ,  G01N31/22 121P ,  G01N31/10 ,  G01N31/22 121A ,  G01N31/22 122 ,  G01N21/77 A ,  G01N21/78 Z

Fターム (21件)：

2G042AA01 ,  2G042BB02 ,  2G042CB01 ,  2G042DA03 ,  2G042DA07 ,  2G042DA08 ,  2G042FA07 ,  2G042FA19 ,  2G042FB05 ,  2G042HA07 ,  2G042HA08 ,  2G054CA04 ,  2G054CE08 ,  2G054EA06 ,  2G054FA21 ,  2G054FA27 ,  2G054FA29 ,  2G054GA03 ,  2G054GB01 ,  2G054GB04 ,  2G054GE07

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開平 4-279681号公報
  
• 水素ガス検知用貼着テープ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-057463   出願人：関西ペイント株式会社, 株式会社アクトリサーチ
• 水素ガス検知用塗膜顔料、水素ガス検知用塗膜、及び水素ガス検知テープ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-166846   出願人：松下電器産業株式会社

審査官引用 (2件)

• 特開昭61-201143
  
• 光検知式水素検出素子及び水素検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-042457   出願人：株式会社日立製作所, 日立電線株式会社

引用文献：

審査官引用 (1件)

• A novel semiconductor NO gas sensor operating at room temperature