特許
J-GLOBAL ID：200903081562789575

光検知式水素検出素子及び水素検出装置

発明者：
寺野 昭久

寺野 昭久 について

, 
望月 和浩

望月 和浩 について

, 
内山 博幸

内山 博幸 について


出願人/特許権者：
株式会社日立製作所

株式会社日立製作所 について

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日立電線株式会社

日立電線株式会社 について


代理人 (2件)： 小川 勝男 ,  田中 恭助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-042457
公開番号（公開出願番号）：特開2005-233740
出願日： 2004年02月19日
公開日（公表日）： 2005年09月02日
要約：
【課題】 水素を光学的に検知する高感度かつ長期信頼性に優れた光検知式水素検出素子及び水素検出装置を提供する。 【解決手段】 透明基板上もしくは金属酸化物上の同一平面上に設けられた触媒金属膜パターン領域における最大長さを70μm以下として形成した水素検出素子を構成する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
透明基板上に堆積され、水素との反応によって光学的特性が変化する第1の水素反応膜と、前記第1の水素反応膜上に堆積され、水素を吸蔵・放出する性質を有する第2の水素反応膜とを有し、 前記第1の水素反応膜は、その一部分が前記透明基板に接する複数の結晶粒からなり、前記第2の水素反応膜は、各々の前記結晶粒上に堆積されていることを特徴とする光検知式水素検出素子。
IPC (3件)：
G01N31/00 ,  G01N21/75 ,  G01N31/22
FI (3件)：
G01N31/00 C ,  G01N21/75 Z ,  G01N31/22 121N
Fターム (20件)：
2G042AA01 ,  2G042BB02 ,  2G042CA01 ,  2G042CB01 ,  2G042DA09 ,  2G042FB05 ,  2G042FB06 ,  2G042HA07 ,  2G054CA04 ,  2G054EA04 ,  2G054EA05 ,  2G054EB01 ,  2G054FA17 ,  2G054FA21 ,  2G054GA01 ,  2G054GA05 ,  2G054GA08 ,  2G054GE09 ,  2G054JA01 ,  2G054JA04
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • ガス検出装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-318738   出願人：伊東謙太郎
  • 水素センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-008936   出願人：日本板硝子株式会社
審査官引用 (4件)
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