特許
J-GLOBAL ID：200903030811729428

パターニング方法

発明者：
川瀬 健夫

川瀬 健夫 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について

, 
ケンブリッジ大学テクニカルサービスリミテッド

ケンブリッジ大学テクニカルサービスリミテッド について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  藤綱 英吉 ,  須澤 修
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-580419
公開番号（公開出願番号）：特表2004-531854
出願日： 2002年03月28日
公開日（公表日）： 2004年10月14日
要約：
【課題】本発明の目的は、たとえば、静止画表示ディスプレイ、発光、光伝達デバイスの製造に用いられるパターニング方法の改良を提供することであり、特に、フォトリソグラフィ技術を必要としない方法を提供する。【解決手段】第2の材料層上へ、第1材料の溶媒溶液の液滴を選択的に堆積する方法からなるパターニング方法。2つの材料を溶解する当該溶媒は、第2材料内に埋め込まれかつそれに沿って延長している第1材料の領域を提供するように当該溶液が分離される際、位相分離を示すように選択される。適当な材料を選択することにより、本発明の方法は、たとえば、発光デバイス、光学的色フィルタ又は電子デバイスの垂直方向の相互接続に用いられる。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
第1の材料層を堆積し、該第1の材料層の第1表面上に溶媒中に第2材料の溶質を含む液滴を選択的に堆積し、該溶媒は第1材料も溶かすことができるよう選択され、該第1および第2材料は、溶液を分離する際に該第1および第2材料の位相分離が生じるよう選択され、その結果として、すくなくとも、第2材料が埋めこまれた1つのドメインを提供し、該ドメインは、該第1材料層の第2表面にまで延長しており、該第2表面は第1表面と反対側に位置してなることを特徴とするパターニング方法。
IPC (8件)：
H05B33/10 ,  G09F9/00 ,  G09F9/30 ,  H05B33/02 ,  H05B33/12 ,  H05B33/14 ,  H05B33/22 ,  H05B33/26
FI (10件)：
H05B33/10 ,  G09F9/00 342Z ,  G09F9/30 337 ,  G09F9/30 365Z ,  H05B33/02 ,  H05B33/12 B ,  H05B33/14 A ,  H05B33/22 D ,  H05B33/22 Z ,  H05B33/26 Z
Fターム (35件)：
3K007AB18 ,  3K007BB06 ,  3K007CA06 ,  3K007CC04 ,  3K007DB03 ,  3K007FA00 ,  3K007FA01 ,  5C094AA43 ,  5C094AA44 ,  5C094AA48 ,  5C094BA03 ,  5C094BA12 ,  5C094BA27 ,  5C094CA19 ,  5C094CA24 ,  5C094DA13 ,  5C094DB04 ,  5C094EA04 ,  5C094FA01 ,  5C094FB01 ,  5C094FB12 ,  5C094FB15 ,  5C094FB20 ,  5C094GB10 ,  5G435AA17 ,  5G435BB05 ,  5G435CC09 ,  5G435CC12 ,  5G435EE37 ,  5G435EE41 ,  5G435HH12 ,  5G435HH14 ,  5G435HH20 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10
引用特許：
審査官引用 (4件)
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引用文献：
審査官引用 (2件)

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