特許

J-GLOBAL ID：200903030823866609

ワーク搬送ロボット

発明者： 木全 一夫 ,  中森 孝雄 ,  加藤 克彦 ,  中野 清憲
出願人/特許権者： 株式会社アイテック
代理人 (1件)： 中村 武司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-331431
公開番号（公開出願番号）：特開2003-136442
出願日： 2001年10月29日
公開日（公表日）： 2003年05月14日
要約：

【要約】【課題】Z軸方向のストロークの減少及びコスト低減を図り、さらに、真空中での使用を可能にすること。【解決手段】撓み補正機構4は、上面41aの高さ位置が円周方向に沿って変化するカムプレート41と、プーリ2fと一体になって回動し、かつ、プーリ2f側の水平軸44回りに回動可能な可動ブロック43と、可動ブロック43に固定され、プーリ2fの回動に伴いカムプレート上面41a上を円周方向へ転動するカムフォロア42とを備え、ワークを保持したハンド1が前進及び後退する間、カムフォロア42がカムプレート上面41a上を円周方向へ転動することにより可動ブロック43が水平軸44回りに回動し、ハンド1を水平状態に維持する。更にアーム自体の撓み等により発生したアーム先端での上下変位量は、ロボット本体の上下軸(Z軸)により常に一定の高さを保つよう補正する。

請求項（抜粋）：

ワークを保持したハンドの前進及び後退に連動して前記ハンドを水平状態に維持する機械的構造のみによる撓み補正機構を前記ハンドの元部側に設けたことを特徴とするワーク搬送ロボット。

IPC (3件)：

B25J 9/06 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

B25J 9/06 D ,  B65G 49/07 D ,  H01L 21/68 A

Fターム (18件)：

3C007BS01 ,  3C007BS15 ,  3C007BT11 ,  3C007CY00 ,  3C007ES17 ,  3C007HT02 ,  3C007HT03 ,  3C007NS12 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA11 ,  5F031GA43 ,  5F031NA05 ,  5F031PA18 ,  5F031PA30

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-060211
  
• 基板搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-264305   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 特開平4-060211