特許
J-GLOBAL ID：200903030852412528
流体加熱装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木村 高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-068518
公開番号（公開出願番号）：特開2000-266496
出願日： 1999年03月15日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：
【要約】【課題】 高温の温流体廃液の廃棄に係わる設備及び加熱手段の加熱能力引き上げに伴うイニシャルコスト及びランニングコスト上昇を抑える。【解決手段】 超純水加熱装置100の筐体10内部には、加熱部20、廃熱回収部30、送風ファン40、電源/制御ユニット50が設けられる。廃熱回収部30は、配管66から流入する廃液を配管67まで通過させ得る流路が内設されて成る。廃熱回収部30において、配管66から流入した廃液が上記流路を通過して配管67へと流出される際、該廃液の熱エネルギーが超純水流入用の配管62内を流れる超純水によって奪われ、超純水流入用の配管62内を流れる超純水が常温(25°C)より高い温度まで上昇する一方で、廃熱回収部30内の流路を流れる廃液の温度が流入時の温度80°Cより下降する熱交換の作用が働く。
請求項（抜粋）：
流入する流体を加熱手段により加熱し温流体として所定の処理プロセスに供給する流体加熱装置において、前記処理プロセスでの利用後に廃棄される前記温流体廃液を導入し、該廃液の熱エネルギーを前記加熱手段に流入する前の前記流体に作用させて熱交換を行う廃熱回収手段を具備することを特徴とする流体加熱装置。
IPC (3件)：
F28F 27/00 511
, F24H 1/12
, H01L 21/304 648
F28F 27/00 511 M
, F24H 1/12 Z
, H01L 21/304 648 K
