特許

J-GLOBAL ID：200903030854352611

電子顕微鏡

発明者： 阿部 勝明 ,  小室 修 ,  西潟 謙一
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立サイエンスシステムズ
代理人 (1件)： 小川 勝男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-260877
公開番号（公開出願番号）：特開2002-071594
出願日： 2000年08月25日
公開日（公表日）： 2002年03月08日
要約：

【要約】【課題】オペレータが容易かつ適正に、観測を目的とする欠陥部に視野設定を行うことができる電子顕微鏡の提供。【解決手段】半導体用ウェハまたは半導体パターン露光用マスクの表面または内部の欠陥/異物を観測する電子顕微鏡において、他のウェハ/マスク検査装置で観測した欠陥/異物の座標位置またはサイズの測定データを取り込み、前記欠陥/異物の存在部に電子顕微鏡の観測視野部を移動させ、他のウェハ/マスク検査装置で得た欠陥/異物の座標と電子顕微鏡の観測視野部およびその周辺領域を図示する機能を有し、ポインティングデバイスのスイッチは、前記図上にポインタで指定された位置に電子顕微鏡の観測視野部を移動させる機能を有し、該観測視野部の移動に伴ない前記図の表示を変更する機能を備えた電子顕微鏡。

請求項（抜粋）：

半導体用ウェハまたは半導体パターン露光用マスクの表面または内部の欠陥/異物を観測する電子顕微鏡において、他のウェハ/マスク検査装置で観測した欠陥/異物の座標位置またはサイズの測定データを取り込み、前記欠陥/異物の存在部に電子顕微鏡の観測視野部を移動させ、他のウェハ/マスク検査装置で得た欠陥/異物の座標と電子顕微鏡の観測視野部およびその周辺領域を図示する機能を有し、ポインティングデバイスのスイッチは、前記図上にポインタで指定された位置に電子顕微鏡の観測視野部を移動させる機能を有し、該観測視野部の移動に伴ない前記図の表示を変更する機能を備えたことを特徴とする電子顕微鏡。

IPC (5件)：

G01N 23/225 ,  H01J 37/22 502 ,  H01J 37/22 ,  H01J 37/28 ,  H01L 21/66

FI (5件)：

G01N 23/225 ,  H01J 37/22 502 C ,  H01J 37/22 502 D ,  H01J 37/28 B ,  H01L 21/66 J

Fターム (26件)：

2G001AA03 ,  2G001BA07 ,  2G001CA03 ,  2G001GA01 ,  2G001GA06 ,  2G001GA08 ,  2G001HA13 ,  2G001JA02 ,  2G001JA03 ,  2G001JA11 ,  2G001JA13 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001PA01 ,  4M106BA02 ,  4M106CA42 ,  4M106CA43 ,  4M106DA14 ,  4M106DB05 ,  4M106DB21 ,  4M106DH33 ,  4M106DJ07 ,  4M106DJ24 ,  5C033UU03 ,  5C033UU06

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 電子顕微鏡システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-298645   出願人：株式会社東芝
• 走査形電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-048258   出願人：株式会社日立製作所
• 異物組成自動分析装置及び異物組成自動分析方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-095071   出願人：富士通株式会社
• 走査電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-329638   出願人：株式会社日立製作所