特許

J-GLOBAL ID：200903030879914347

回転式ワーク乾燥機におけるワークのクランプ装置

発明者： 柴 垣 喜 造 ,  濱 田 祐 己
出願人/特許権者： 柴垣 喜造 ,  濱田 祐己
代理人 (1件)： 林 宏 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-173251
公開番号（公開出願番号）：特開平8-017784
出願日： 1994年07月01日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：

【要約】【目的】 ロータの回転時にクランプを解除する方向に作用する遠心力を吸収緩和して、ワークを確実にクランプすることができるクランプ装置を得る。【構成】 ロータ1上にセットされたワーク4の外周を押えるリテーナ機構10の回動アーム13に、ロータの回転によりクランプ解除方向に作用する遠心力を吸収するバランスウエイト手段としての機能を持たせ、該リテーナ機構10をクランプ位置とアンクランプ位置とに回動させるリンク機構11を、ワークのクランプ時に、駆動リンク21と従動リンク22との連結点がリンク回動上死点を僅かに越えた位置において従動リンク22の弾力によりその位置にロック可能とする。

請求項（抜粋）：

ロータに保持されたワークを該ロータの回転により水切り乾燥させる回転式ワーク乾燥機における、上記ロータ上のワークをクランプするための装置であって、ロータ上にセットされたワークの外周を押えるリテーナ機構と、該リテーナ機構をワークに当接するクランプ位置とワークから離間するアンクランプ位置とに回動させるリンク機構とを有し、上記リテーナ機構が、ワークのクランプ時にロータの回転によりクランプ解除方向に作用する遠心力を吸収するためのバランスウエイト手段を有し、上記リンク機構が、操作用の駆動軸に連結された駆動リンクと、該駆動リンクとリテーナ機構とに回転自在に連結された弾性ある従動リンクとを有していて、これらのリンクの回動上死点が、リテーナ機構と従動リンクとの連結点から駆動軸に至る直線上に設定され、ワークのクランプ時に、駆動リンクと従動リンクとの連結点が上記上死点を僅かに越えた位置において従動リンクの弾力によりロック可能である、ことを特徴とする回転式ワーク乾燥機におけるワークのクランプ装置。

IPC (6件)：

H01L 21/304 361 ,  H01L 21/304 ,  B05C 13/02 ,  G11B 5/84 ,  G11B 23/00 ,  H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 横軸回転式基板乾燥装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-280948   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 特開平2-138737