特許
J-GLOBAL ID：200903030912634541
集積回路の故障検証方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
池内 寛幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-181438
公開番号（公開出願番号）：特開平11-025147
出願日： 1997年07月07日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：
【要約】【課題】 チップ内におけるマスクパターン密度の分布に着目し、物理的な故障発生率に応じた新たな故障検出率を算出することにより、高精度かつ高効率の検査を可能ならしめ、初期不良の低減に寄与する。【解決手段】 検査対象の集積回路のマスクパターンを作成した際のフロアプラン又はレイアウト情報から物理的なパラメーターを抽出し、得られたパラメータと故障シミュレータ又は自動テストパターン生成装置から得られる故障検出率とに基づいて、物理的な故障発生率に応じた新たな故障検出率を算出する。
請求項（抜粋）：
検査対象の集積回路のマスクパターンを作成した際のフロアプラン又はレイアウト情報から物理的なパラメーターを抽出し、得られたパラメータと故障シミュレータ又は自動テストパターン生成装置から得られる故障検出率とに基づいて、物理的な故障発生率に応じた新たな故障検出率を算出する集積回路の故障検証方法。
IPC (3件)：
G06F 17/50
, G01R 31/28
, H01L 21/82
G06F 15/60 666 A
, G01R 31/28 F
, G06F 15/60 672 D
, H01L 21/82 T
