回路パターンの検査装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高田幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-208749
公開番号（公開出願番号）：特開2001-035893
出願日： 1999年07月23日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：

【要約】【課題】白色光・レーザ光、あるいは電子線を照射して形成された画像を用いて微細な回路パターンを検査する技術において、検査に必要な各種条件を設定する際にその操作性効率を向上するための技術を提供する。【解決手段】回路パターンが形成された基板表面に光、あるいは光および荷電粒子線を照射する手段と、該基板から発生する信号を検出する手段と、検出手段により検出された信号を画像化して一時的に記憶する手段と、上記記憶された当該領域の画像を他の同一の回路パターンが形成された領域と比較する手段と、比較結果から回路パターン上の欠陥を判別する手段からなる回路パターンの検査装置であって、検査用および検査条件設定用の操作画面に操作内容あるいは入力内容を表示する画面領域とその画面を表す項目名を表示する手段を備えており、且つ該項目名は該操作画面領域で一体化して表示する。

請求項（抜粋）：

回路パターンが形成された基板に光(レーザ光を含む)あるいは荷電粒子線を照射する照射手段と、照射によって前記基板から発生する信号を検出する検出手段と、基板のX軸およびY軸によって区割される領域について前記検出手段により検出された信号を画像化のために記憶する記憶手段と、記憶された当該領域の画像を他の同一の回路パターンが形成された領域の画像と比較する比較手段と、および比較結果から回路パターン上の欠陥を判別する判別手段を備えた回路パターンの検査装置において、記憶された画像を表示するための画面部を有し、該画面部の画面上方に検査項目名と検査項目についてのガイダンスを形成する検査項目画面が表示され、画面下方に画面についてのメニューを切り替える指示情報を形成するメニュー切替え画面が表示され、画面側方に検査の開始を指示する検査開始画面が表示され、画面中央部に前記領域を基板上のチップに配列対応させて区画し、チップに対応して検査領域として指定する検査領域指定画面および指定された検査領域についての検査結果を形成する検査結果画面を表示することを特徴とする回路パターンの検査装置。

IPC (2件)：

H01L 21/66 , G01N 21/88

FI (2件)：

H01L 21/66 J , G01N 21/88 645 A

Fターム (29件)：

2G051AA51 , 2G051AA56 , 2G051AA73 , 2G051AB20 , 2G051AC02 , 2G051BA10 , 2G051BA20 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051DA07 , 2G051EA12 , 2G051EA14 , 2G051EB01 , 2G051EB02 , 2G051EC01 , 2G051EC02 , 2G051FA03 , 4M106AA01 , 4M106AA02 , 4M106AA09 , 4M106BA02 , 4M106BA05 , 4M106CA39 , 4M106DB05 , 4M106DB21 , 4M106DJ14 , 4M106DJ18 , 4M106DJ21 , 4M106DJ23

引用特許：

審査官引用 (1件)

半導体の不良解析システムおよび半導体検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-009915 出願人：株式会社日立製作所

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