特許
J-GLOBAL ID：200903030966909325
1階、1次の色収差を補正する補正装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
矢野 敏雄 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-352974
公開番号（公開出願番号）：特開2003-187731
出願日： 2002年12月04日
公開日（公表日）： 2003年07月04日
要約：
【要約】【課題】 電子光学式レンズ系の1階、1次のエネルギーに依存する軸上の収差および1階、1次のエネルギーに依存する軸外れの収差も、3階の球面収差も補正でき、電子光学式レンズ系の歪曲、像面湾曲および軸外光束の非点収差の補正もできる補正装置を提供すること。【解決手段】 上記の課題は本発明によって、7つの四極子(Q1〜Q7)を有する少なくとも1つの7個組四極子と、当該7個組四極子内で励起可能な少なくとも5つの八極子(O1〜O5)を有しており、前記四極子は中央面(ZS)に対して対称に直線軸に沿って励起可能である、電子光学式レンズ系のエネルギーに依存する1階、1次の収差並びに3階の球面収差を補正する補正装置によって解決される。
請求項（抜粋）：
電子光学式レンズ系の、エネルギーに依存する1階、1次の収差並びに3階の球面収差を補正する補正装置であって、当該補正装置は7つの四極子(Q1〜Q7)を有する少なくとも1つの7個組四極子と、当該7個組四極子内で励起する少なくとも5つの八極子(O1〜O7)とを有しており、前記四極子は中央面(ZS)に対して対称に直線軸に沿って励起する、ことを特徴とする補正装置。
IPC (3件)：
H01J 37/10
, H01J 37/153
, H01L 21/027
H01J 37/10
, H01J 37/153 A
, H01L 21/30 541 D
5F056CB29
, 5F056CB30
, 5F056CB31
