特許

J-GLOBAL ID：200903030980707840

固体撮像素子

発明者： 原田 耕一 ,  上田 康弘
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 土屋 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-296251
公開番号（公開出願番号）：特開平11-121728
出願日： 1997年10月14日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：

【要約】【課題】 青色可視光から近紫外光までの感度が高くて、近紫外光から近赤外光までの全体の感度を高めることが可能な固体撮像素子を提供する。【解決手段】 青色可視光の波長以下の波長を有する光の反射を低減させる反射防止膜17と、青色可視光の波長以下の波長を有する光の吸収が少ないパッシベーション膜としてのSiN膜18との、少なくとも一方を用いる。このため、赤色可視光から近赤外光までの感度を高めることができる公知の構造と組み合わせることによって、近紫外光から近赤外光までの全体の感度を高めることが可能である。

請求項（抜粋）：

青色可視光の波長以下の波長を有する光の透過を増大させる膜が感光部上に設けられていることを特徴とする固体撮像素子。

IPC (3件)：

H01L 27/14 ,  G02B 5/28 ,  H01L 21/318

FI (3件)：

H01L 27/14 D ,  G02B 5/28 ,  H01L 21/318 C

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 固体撮像素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-287679   出願人：日本電気株式会社
• 半導体装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-038445   出願人：浜松ホトニクス株式会社