特許
J-GLOBAL ID:200903031024343934

透明固体内部のボイドの移動方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 清水 守
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-145700
公開番号(公開出願番号):特開2002-343087
出願日: 2001年05月16日
公開日(公表日): 2002年11月29日
要約:
【要約】【課題】 フェムト秒レーザーパルスの照射に関して装置を機械的に調整することなく、簡便に透明固体内部のボイドを移動させることができる透明固体内部のボイドの移動方法を提供する。【解決手段】 透明体4内部のボイドの移動方法において、フェムト秒レーザーパルスのレンズ系又は試料のステージ3の調整を行うことなく、前記レーザーパルスを試料としての透明固体4内部に連続照射することにより、この透明固体4内部のボイドをレーザーパルスの入射方向に移動させる。
請求項(抜粋):
フェムト秒レーザーパルスのレンズ系又は試料ステージの調整を行うことなく、前記レーザーパルスを試料としての透明固体内部に連続照射することにより、該透明固体内部のボイドをレーザーパルスの入射方向に移動させることを特徴とする透明固体内部のボイドの移動方法。
IPC (3件):
G11C 13/04 ,  B23K 26/00 ,  G11C 17/00 580
FI (3件):
G11C 13/04 Z ,  B23K 26/00 G ,  G11C 17/00 580 Z
Fターム (9件):
4E068CA02 ,  4E068CA03 ,  4E068DA00 ,  4E068DB12 ,  4E068DB13 ,  5B003AA09 ,  5B003AC01 ,  5B003AD01 ,  5B003AD03
引用特許:
審査官引用 (1件)

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