電界効果電子ソースおよびその製造法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本恵一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-306382
公開番号（公開出願番号）：特開平8-227655
出願日： 1995年11月01日
公開日（公表日）： 1996年09月03日
要約：

【要約】【課題】電界効果電子ソースの製造法と該製造法により得られた電子ソースを開示しており、応用分野は陰極線ルミネセンスによる表示装置の分野である。【解決手段】絶縁基板(2)の上に、前記電子ソースは少なくとも1つの陰極導体(4)と、該導体を覆っている絶縁層(6)と、絶縁性の層の上に形成された少なくとも1つのグリッド(8)を備え、ホール(10)が前記グリッドと絶縁性の層を通して形成されており、マイクロチップ(12)が電子放出の金属材料により前記ホールの中に作られ、電気泳動により、または金属および炭素ダイヤモンドまたはダイヤモンド様の炭素の結合電気化学堆積により形成された炭素ダイヤモンドまたはダイヤモンド様の炭素粒子の堆積部により覆われている。

請求項（抜粋）：

構造が電気絶縁基板(2)と、前記基板の上の少なくとも1つの陰極導体(4)と、各陰極導体を覆っている絶縁層(6)と、電気絶縁層を覆っている導電グリッド層(25)を備えて製造され、ホール(10)がグリッド層と各陰極導体にある電気絶縁層を通して形成されており、マイクロチップ(12)のそれぞれが炭素ダイヤモンドまたはダイヤモンド様の炭素粒子の主要堆積部(13)により覆われ、該主要堆積部(13)が電気泳動により、または金属および炭素ダイヤモンドまたはダイヤモンド様の炭素の結合電気化学堆積により形成されていることを特長とする、電界効果電子ソースの製造法。

IPC (2件)：

H01J 9/02 , H01J 1/30

FI (2件)：

H01J 9/02 B , H01J 1/30 A

引用特許：

審査官引用 (5件)

電界放出電子エミッタ及びその形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-241326 出願人：モトローラ・インコーポレイテッド
特開昭50-092673
特開平3-238729

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