特許

J-GLOBAL ID：200903031093472665

自動焦点検出制御装置及び光学検査機械

発明者： 島田 征和 ,  佐伯 由紀子
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-059606
公開番号（公開出願番号）：特開平10-253873
出願日： 1997年03月13日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：

【要約】【課題】 スイッチ類等を使用しない簡略な構成で自動焦点検出の誤作動を防止することが可能な自動焦点検出制御装置を提供する。【解決手段】 ステージ1上の標本3の像を観察光学系により得て、画像処理部により前記像に対応した画像情報を収集し、この画像情報を基に標本3を載置するステージ1を合焦位置まで移動させる自動焦点検出動作を行うモータドライバとを有する光学検査機械に用いられる自動焦点検出制御装置おいて、前記ステージ1上の標本3の有無を検出する磁石104、ホール素子105を用いた標本検出部と、この標本検出部による標本有り又は標本無しの検出信号を基に前記モータドライバによる自動焦点検出動作の実行又は不実行を制御するCPU24とを有するものである。

請求項（抜粋）：

標本を載置するステージと、このステージ上の標本を観察する観察光学系と、この観察光学系により得られる標本の像に対応した画像情報を得る画像処理部と、この画像処理部により得た画像情報を基に前記ステージを合焦位置まで移動させる自動焦点検出動作を行う電動焦準部とを有する光学検査機械に用いられる自動焦点検出制御装置において、前記ステージ上の標本の有無を検出する標本検出部と、この標本検出部による標本有り又は標本無しの検出信号を基に前記電動焦準部による自動焦点検出動作の実行又は不実行を制御する制御手段と、を有することを特徴とする自動焦点検出制御装置。

IPC (3件)：

G02B 7/28 ,  G02B 21/36 ,  G03B 13/36

FI (3件)：

G02B 7/11 J ,  G02B 21/36 ,  G03B 3/00 A

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 画像読取装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-198431   出願人：富士写真フイルム株式会社