特許

J-GLOBAL ID：200903031099275497

ロボット制御方法

発明者： 岩田 康
出願人/特許権者： 日本真空技術株式会社
代理人 (1件)： 石島 茂男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-026010
公開番号（公開出願番号）：特開平8-202421
出願日： 1995年01月20日
公開日（公表日）： 1996年08月09日
要約：

【要約】【目的】 全室の再ティーチングをすることなく、位置ずれを修正できるロボット制御方法を提供する。【構成】 基板搬送ロボット2の搬送動作に位置ずれが生じた場合、所望の搬送場所1011で再ティーチングをし、そのときの移動量と記憶内容とからこの搬送場所1011での誤差旋回移動量ΔRa1(又はΔRb1)と誤差伸縮移動量ΔEa1(又はΔEb1)とを算出し、該基板搬送ロボット2の構造と位置ずれの原因とから、前記誤差旋回移動量ΔRa1と前記誤差伸縮移動量ΔEa1とを各搬送場所の位置に応じて換算して、各搬送場所の位置を示す記憶内容(Rn,En)を修正する。前記再ティーチングを行う搬送場所に、大気に曝されても回復が容易なところを選べば、位置ずれ修正後、もとの状態に回復するまでの時間が大幅に短縮できる。

請求項（抜粋）：

2つの回転軸を備えたロボット本体と、前記2つの回転軸に取付けられ、該2つの回転軸の同方向の回転により旋回し、逆方向の回転により伸縮するリンク機構を有する腕部と、前記腕部に設けられ、前記リンク機構の一部を構成する基板保持部と、該基板保持部に保持した基板を、前記ロボット本体周囲に配置された複数の搬送場所に搬送する基板搬送ロボットを制御するロボット制御方法であって、前記腕部の原点復帰状態を基準に、前記腕部の旋回した量を旋回移動量とし、伸縮した量を伸縮移動量とし、前記基板保持部を前記各搬送場所へ仮に移動させ、そのときの前記旋回移動量と前記伸縮移動量とを、各搬送場所の位置を示す記憶旋回移動量と記憶伸縮移動量として記憶し、前記基板搬送ロボットに、前記記憶内容に従って、各搬送場所へ実際にウェハーを搬送させるロボット制御方法において、前記基板保持部の原点復帰状態が変化し、前記記憶内容に従ってウェハーを搬送すると位置ずれを生じる場合に、次の各工程を含む位置ずれ修正工程で位置ずれを修正することを特徴とするロボット制御方法。(1) 位置ずれの原因に応じて基板保持部上に基準点を定め、前記複数の搬送場所から選んだ所望搬送場所上に該基準点に対応した搬送位置を定める第1工程。(2) 前記基準点が前記搬送位置上に来るように、前記基板保持部を強制的に移動させる第2工程。(3) 該強制的に移動させたときの前記旋回移動量と前記伸縮移動量とを求めて、該搬送位置を正しく示す修正旋回移動量と修正伸縮移動量とする第3工程。(4) 前記所望搬送場所に対応する前記記憶旋回移動量と前記記憶伸縮移動量の値と、前記修正旋回移動量と前記修正伸縮移動量の値との差から、該搬送位置における位置ずれを示す誤差旋回移動量と誤差伸縮移動量とを算出する第4工程。(5) 位置ずれの原因に応じ、前記第4工程で求めた誤差旋回移動量と誤差伸縮移動量とを、各搬送位置に応じた値に換算し、各搬送位置での位置ずれを示す換算誤差旋回移動量と換算誤差伸縮移動量とを求める第5工程。(6) 前記第5工程で求めた換算誤差旋回移動量と換算誤差伸縮移動量とを、前記各搬送位置に対応する前記記憶旋回移動量と前記記憶伸縮移動量にそれぞれ加算し、各搬送位置を示す記憶内容を修正する第6工程。

IPC (5件)：

G05B 19/404 ,  B25J 9/22 ,  B25J 13/00 ,  G05B 19/18 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

G05B 19/18 G ,  G05B 19/18 A ,  G05B 19/18 D

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 基板搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-151818   出願人：日本電気株式会社
• 特開平3-281183
  
• 特開平3-281183