特許
J-GLOBAL ID：200903031169895820
動圧流体軸受
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石井 陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-186074
公開番号（公開出願番号）：特開2001-065571
出願日： 2000年06月21日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
要約：
【要約】【課題】 回転精度が良く、かつ耐摩耗性および耐久性に優れ、繰り返し使用による回転精度の低下がなく、しかも製造が容易な動圧流体軸受を提供することである。【解決手段】 予め圧力発生パターンを形成したシャフト基体および/またはスリーブ基体の前記パターン部表面および前記パターン形成面にダイヤモンド状炭素膜を被覆した動圧流体軸受とする。
請求項（抜粋）：
流体の圧力分布を発生させる凹および/または凸状のパターンを有する部品を備えた動圧流体軸受において、前記パターンを有する部品の少なくとも1つにダイヤモンド状炭素膜が被覆されており、このダイヤモンド状炭素膜を被覆したパターン形成部品の少なくとも1つの部品の前記パターン部表面および前記パターン形成面に、予め前記パターンを形成してから、ダイヤモンド状炭素膜を被覆したことを特徴とする動圧流体軸受。
IPC (6件)：
F16C 33/24
, C01B 31/02 101
, C23C 14/06
, C23C 16/27
, F16C 17/10
, G11B 19/20
F16C 33/24 Z
, C01B 31/02 101 Z
, C23C 14/06 F
, C23C 16/27
, F16C 17/10 A
, G11B 19/20 E
