特許
J-GLOBAL ID：200903031204897679
半導体CMP加工用パッドの細溝加工機械・加工用工具及び切削加工方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
加藤 由美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-191242
公開番号（公開出願番号）：特開2002-011630
出願日： 2000年06月26日
公開日（公表日）： 2002年01月15日
要約：
【要約】【課題】 半導体CMP加工に使用するパッドに機械加工により同心円状または碁盤目状の細溝を被削材の物性に応じた加工法を適宜選択して、静電付着なく切粉を排除して均整な溝形状を得ることができる細溝加工機械・加工用工具及び切削加工方法の提供。【解決手段】 発泡ウレタンパッドを吸着固定する鉛直軸回りでC軸制御される円テーブルと、該円テーブルを跨いでX軸制御するガントリ形コラムと、該ガントリ形コラム上でY軸移動するサドルと、該サドル上でZ軸制御される刃物台と、該刃物台で工具交換可能な固定工具(旋削,切断)と回転工具ユニット(フライスカッタ,ドリル)とを設け、加工時に工具近傍に設けたイオンブローノズルの噴出流でパッド及び切粉の静電気を中和して切粉の排除を容易にする。
請求項（抜粋）：
半導体CMP加工に使用するパッドの細溝加工機械であって、ベッドと、該ベッドに鉛直のZ軸回りで回転可能に軸承された中空中心軸の上端全面にほぼ均一な密度の吸引穴を穿設し前記パッドを載置して吸着する水平の吸着面板を設けて前記吸引穴を前記中空中心軸の孔に連通するようになした円テーブルと、前記円テーブルを回転並びに角度割出し位置決めする駆動機構と、前記ベッド上にクロスレールが前記テーブルを跨いでX軸方向に移動可能に設けられたガントリ形コラムと、前記クロスレール上をY軸方向に単独に移動可能に載置された2個のサドルと、該サドル上でZ軸方向に単独に移動可能に載置され少なくとも一方に回転工具を他方に固定工具を載置した刃物台と、前記円テーブル,ガントリ形コラム,2個のサドルおよび2個の刃物台をそれぞれ移動位置決めする駆動モータと、該駆動モータを制御統括する数値制御装置とを含んでなり、前記円テーブルの中空中心軸を空気吸引源に接続して吸着面板上に載置した前記パッドを吸着後工具によって円形,スパイラル,碁盤目状等の細溝加工,穴あけ加工および切断加工を行うことを特徴とする半導体CMP加工用パッドの細溝加工機械。
IPC (6件)：
B23P 23/02
, B23B 27/00
, B23B 51/02
, B23C 5/08
, B23Q 11/00
, H01L 21/304 622
B23P 23/02 A
, B23B 27/00 A
, B23B 51/02 S
, B23C 5/08 Z
, B23Q 11/00 L
, H01L 21/304 622 Z
3C022JJ11
, 3C037AA02
, 3C037BB01
, 3C046CC05
, 3C046CC06
