特許
J-GLOBAL ID：200903031258754806
基板キャリヤを懸架するためのオーバーヘッド移送フランジおよび支持体
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
長谷川 芳樹
, 山田 行一
, 鈴木 康仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-018830
公開番号（公開出願番号）：特開2004-262654
出願日： 2004年01月27日
公開日（公表日）： 2004年09月24日
要約：
【課題】基板キャリアを適切に位置決めする基板キャリア支持体及びオ-バ-ヘッド移送フランジを提供する。【解決手段】 第1の態様において、基板キャリヤを支持する際に使用するための第1の装置が提供される。第1の装置は、基板キャリヤ本体105およびオーバーヘッドキャリヤ支持体111と結合するように適合されるオーバーヘッド移送フランジ113を含む。オーバーヘッド移送フランジ113は、第1の側部123aと、第1の側部の反対側にあり、第1の側部より幅が広い第2の側部123bとを有する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
基板キャリヤを支持する際に使用するための装置であって、
基板キャリヤ本体およびオーバーヘッドキャリヤ支持体と結合するように適合されるオーバーヘッド移送フランジを含み、前記オーバーヘッド移送フランジが、
第1の側部と、
前記第1の側部の反対側にあり、前記第1の側部より幅が広い第2の側部とを有する、装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
前のページに戻る
