特許
J-GLOBAL ID：200903031268377784

基板搬送制御方法

発明者：
吉田 安志

吉田 安志 について


出願人/特許権者：
国際電気株式会社

国際電気株式会社 について


代理人 (1件)： 守山 辰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-210332
公開番号（公開出願番号）：特開平11-102953
出願日： 1998年07月09日
公開日（公表日）： 1999年04月13日
要約：
【要約】【課題】 基板処理装置に処理対象の基板を投入することができる時間間隔を考慮した上で、搬送装置による搬送処理を支障なく実施する。【解決手段】 同一の処理を行う成膜室R1、R2及びR3〜R5を備えて、これら処理室(処理室群)に対する基板の搬送処理を同一の搬送装置T2によって行う基板処理装置において、処理室で基板処理に要する時間及び基板搬送処理に要する時間とを、その処理室群の室数で割り算して得た値をタクトタイムに設定し、このタクトタイム毎に基板処理装置へ基板を投入する。更に、1回の搬送処理に要する時間以上の時間を搬送スロットとしてタクトタイム内に複数設定し、当該搬送スロットと同期をとって搬送装置T2により各成膜室に対する基板の搬送処理を行わせる。
請求項（抜粋）：
同一の処理を並列的に行う複数の処理室から成る処理室群を少なくとも1つ含む複数の処理室群を備え、これら処理室群に対する基板の搬送処理を同一の搬送装置によって行う基板処理装置において、処理室で基板処理に要する時間と当該処理室に対する基板の搬送処理に要する時間の合計時間を当該処理室群に含まれる処理室数で割算して得られた各処理室群毎の値の内、最大値以上の時間をタクトタイムとして設定し、当該タクトタイムに従った時間間隔で基板処理装置へ処理対象の基板を搬入することを特徴とする基板搬送制御方法。
IPC (2件)：
H01L 21/68 ,  H01L 21/02
FI (2件)：
H01L 21/68 A ,  H01L 21/02 Z
引用特許：
審査官引用 (5件)
  • 生産装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-237080   出願人：ソニー株式会社
  • 特開平4-113612
  • 特開平4-113612
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM