特許
J-GLOBAL ID:200903031269364570
コンタクトプローブおよびそれを用いたコンタクトアセンブリ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
岡田 全啓
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-298447
公開番号(公開出願番号):特開2005-069805
出願日: 2003年08月22日
公開日(公表日): 2005年03月17日
要約:
【課題】 細径化・狭ピッチ化に対応でき、低インダクタンスで接触抵抗のバラツキが少なく、取扱いが容易で信頼性・安定性の高いコンタクトプローブを提供する。【解決手段】 一端に対象物との接触部11を有し、他端に斜めに形成された摺動面12を有する一対のプランジャ10と、長手方向にスリットを有し、係方向に弾性を有する筒状バネ20とから構成される。プランジャの摺動面は凸状の曲面または球面に形成されており、荷重が集中し、セルフクリーニングが効果的に働く。プランジャの摺動面には段差からなる係止部14を有し、プランジャの接触部側にはストッパ15を有するので、筒状バネの両側からプランジャを挿入して係止部を噛み合わせることでプランジャの脱落が防止される。筒状バネの両端は傾斜を有し、ストッパにはこれに対応する傾斜面を有するので、筒状バネに対するプランジャの方向が拘束され、接触圧が一定になる。【選択図】 図4
請求項(抜粋):
一端に対象物との接触部を有し、他端に斜めに形成された摺動面を有する一対のプランジャと、径方向に弾性を有する筒状の弾性体とを備え、前記一対のプランジャを前記摺動面を対向させた状態で前記摺動面を含む一定範囲を前記筒状の弾性体に収容したコンタクトプローブであって、
前記一対のプランジャは、一方または双方の摺動面に凸状の曲面部または球面部を有することを特徴とする、コンタクトプローブ。
IPC (4件):
G01R1/067
, G01R1/073
, G01R31/26
, H01L21/66
FI (4件):
G01R1/067 C
, G01R1/073 B
, G01R31/26 J
, H01L21/66 B
Fターム (22件):
2G003AA07
, 2G003AG03
, 2G003AG12
, 2G011AA03
, 2G011AA04
, 2G011AA09
, 2G011AA16
, 2G011AB01
, 2G011AB03
, 2G011AB04
, 2G011AB05
, 2G011AB06
, 2G011AC14
, 2G011AC32
, 2G011AE03
, 2G011AF02
, 2G011AF07
, 4M106AA01
, 4M106AA04
, 4M106BA01
, 4M106DD03
, 4M106DD10
引用特許:
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