特許

J-GLOBAL ID：200903031272523248

加速度センサ

発明者： 小西 保司 ,  若林 大介 ,  吉田 仁
出願人/特許権者： 松下電工株式会社
代理人 (2件)： 西川 惠清 ,  森 厚夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-341089
公開番号（公開出願番号）：特開2006-153516
出願日： 2004年11月25日
公開日（公表日）： 2006年06月15日
要約：

【課題】従来に比べて加速度センサチップが加速度以外の要因による応力の影響を受けにくく、しかも、従来に比べてストッパと加速度センサチップの重り部との間のギャップ長の精度の向上および加速度センサチップの小型化が可能な加速度センサを提供する。 【解決手段】加速度センサチップ1と、加速度センサチップ1のフレーム部11が固着されたパッケージ3と、加速度センサチップ1の重り部12の過度な変位を規制する平板状のストッパ2とを備えている。加速度センサチップ1のフレーム部11におけるストッパ2との対向面に、重り部12のコア部12aとストッパ2との間の距離を規定のギャップ長に保つようにストッパ2に当接する突起部7が突設され、かつ、ストッパ2の両端部が、パッケージ3における加速度センサチップ1の固定面3aからストッパ2までの設定高さよりも低い所定高さまで突出した突台部3bの先端面に接着剤により固着されている。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

枠状のフレーム部の開口窓内に配置される重り部が一表面側において可撓性を有する撓み部を介してフレーム部に揺動自在に支持され撓み部にゲージ抵抗が設けられた加速度センサチップと、加速度センサチップが収納され加速度センサチップのフレーム部が固着されたパッケージと、パッケージ内で中間部が加速度センサチップの前記一表面に対向配置され重り部の過度な変位を規制する平板状のストッパとを備え、加速度センサチップのフレーム部とストッパとの互いの対向面の少なくとも一方に、加速度センサチップの重り部とストッパとの間の距離を規定のギャップ長に保つように他方に当接する突起部が突設され、かつ、ストッパの両端部が、パッケージにおける加速度センサチップの固定面からストッパまでの設定高さよりも低い所定高さまで突出した突台部の先端面に接着剤により固着されてなることを特徴とする加速度センサ。

IPC (2件)：

G01P 15/12 ,  G01P 15/18

FI (2件)：

G01P15/12 D ,  G01P15/00 K

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-018715   出願人：日立金属株式会社