特許
J-GLOBAL ID：200903091520973762

加速度センサ

発明者：
斎藤 正勝

斎藤 正勝 について

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古市 眞治

古市 眞治 について

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佐藤 孝

佐藤 孝 について


出願人/特許権者：
日立金属株式会社

日立金属株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-018715
公開番号（公開出願番号）：特開2004-233072
出願日： 2003年01月28日
公開日（公表日）： 2004年08月19日
要約：
【課題】規制板付きの加速度センサにおいて、小径スペーサを混練したシリコンゴム系樹脂により規制板を狭ギャップに固着した場合、樹脂の接着面積のばらつきが大きくなるため、その残留応力のばらつきによって加速度センサの特性低下を避けられなかった。【解決手段】加速度センサ素子の支持部表面の偶数個所に深さがシリコンゴム系樹脂に混合する球形スペーサの直径より小さい凹部を設け、該凹部において加速度センサ素子と上部規制板とを固着することによって、直径の大きなスペーサの適用を可能とし、樹脂接着面積のばらつきを抑え加速度センサの特性の低下を防ぐ。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
チップ中央に錘部、周辺に支持部があり両者を薄肉の可撓部で接続し、可撓部上に複数個のピエゾ抵抗素子から成る加速度検出部を配した加速度センサ素子に、錘部の過度な変位を抑制する上部規制板と下部規制板を有する加速度センサであって、上部規制板側の支持部表面に偶数個の凹部を設け、凹部深さd1と上部規制板と錘部の間隔gの和(d1+g)の直径を有する球形スペーサを混練したシリコンゴム系樹脂を該凹部に塗布し、加速度センサ素子と上部規制板とを固着してなることを特徴とする加速度センサ。
IPC (3件)：
G01P15/12 ,  G01P15/08 ,  H01L29/84
FI (3件)：
G01P15/12 D ,  H01L29/84 Z ,  G01P15/08 P
Fターム (12件)：
4M112AA02 ,  4M112BA01 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112CA27 ,  4M112DA03 ,  4M112DA09 ,  4M112DA10 ,  4M112DA18 ,  4M112EA02 ,  4M112EA17 ,  4M112FA07
引用特許：
審査官引用 (5件)
  • 半導体力学量センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-269816   出願人：株式会社デンソー
  • 特開平4-274005
  • 加速度センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-313362   出願人：日本航空電子工業株式会社
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