特許
J-GLOBAL ID：200903031279007903
レーザ装置の出力制御装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木村 高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-320566
公開番号（公開出願番号）：特開平6-169123
出願日： 1992年11月30日
公開日（公表日）： 1994年06月14日
要約：
【要約】【目的】レーザ装置におけるスパイキング現象を防止する制御を常に精度よく行う。【構成】連続パルスの各パルスのエネルギーの大きさを同一にする放電電圧がレーザ装置1のメモリに予め記憶される。そして、ステッパ9でレーザ光Lを用いる所定の処理が行われていない時間中に、レーザ光Lが所定条件下でパルス発振され、この発振されたパルスのエネルギーが出力モニタ5で検出され、この検出されたエネルギーの大きさと所望の所定の大きさと上記所定条件とに基づいて記憶された放電電圧が出力制御部6で補正される。そして、ステッパ9でレーザ光を用いる所定の処理が行われる時間中に、出力制御部6は、補正された放電電圧が得られるように放電電圧を制御する。
請求項（抜粋）：
レーザ光を所定回数連続してパルス発振させた後、所定時間パルス発振を休止させる運転を繰り返すバーストモードでレーザ装置を稼働させるとともに、前記パルスのエネルギーが所定の大きさとなるように放電電圧を制御し、前記レーザ光を用いて所定の処理を行うレーザ装置の出力制御装置において、連続パルスの各パルスのエネルギーの大きさを同一にする放電電圧を予め記憶する記憶手段と、発振されたパルスのエネルギーを検出する検出手段と、前記所定の処理が行われていない時間中に、レーザ光を所定条件下でパルス発振させ、この発振されたパルスのエネルギーを前記検出手段によって検出し、この検出されたエネルギーの大きさと前記所定の大きさと前記所定条件とに基づいて前記記憶された放電電圧を補正する補正手段と、前記所定の処理が行われる時間中に、前記補正された放電電圧が得られるように放電電圧を制御する手段とを具えたレーザ装置の出力制御装置。
IPC (4件)：
H01S 3/104
, G03F 7/20 505
, G03F 7/20 521
, H01L 21/027
