特許
J-GLOBAL ID：200903031294843920
ウエハパターン検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊藤 求馬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-109191
公開番号（公開出願番号）：特開平5-281151
出願日： 1992年04月02日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：
【要約】【目的】 ウエハ間の表面処理のバラツキによる誤検出を生じず、高精度なパターン検査をなし得る。【構成】 視覚センサ3によりウエハ1の検査画像を入力する。入力した検査画像と予め記憶されたマスタ画像とを画像比較回路4dで比較し、比較画像の相違量よりウエハ1の良否を判定回路4eで判定する。上記相違量が所定値以下の時には、入力された検査画像を新たなマスタ画像としてマスタ記憶回路4hに記憶し、ウエハ良否の判定結果は判定出力処理回路5へ出力される。ウエハ1の表面状態が僅かづつ変化しても、この変化に追従してマスタ画像が更新されるから、表面状態のバラツキはキャンセルされ、回路欠陥等による相違のみが良好に検出される。
請求項（抜粋）：
ウエハの検査画像を入力する手段と、入力した検査画像と予め記憶されたマスタ画像とを比較する手段と、比較画像の相違量よりウエハの良否を判定する手段と、上記相違量が所定値以下の時に、上記入力された検査画像を新たなマスタ画像として記憶する手段と、上記良否の判定結果を出力する手段とを具備するウエハパターン検査装置。
IPC (5件)：
G01N 21/88
, G01B 11/24
, G01B 11/30
, H01L 21/66
, H04N 7/18
