特許

J-GLOBAL ID：200903031307600712

露光量制御方法および装置

発明者： 梶木 善裕
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-253854
公開番号（公開出願番号）：特開平8-124820
出願日： 1994年10月19日
公開日（公表日）： 1996年05月17日
要約：

【要約】【目的】 ランニングコストを上げることなく、露光量の誤差を低減させる。【構成】 一回の露光に所望の総エネルギから現在までに前記パルス光源から出力された光パルスの露光エネルギを引いた残りのエネルギを、総パルス数から現在までに出力されたパルス数を引いた残りのパルス数で割った値を次回に前記パルス光源から出力される光パルスのエネルギとする。

請求項（抜粋）：

パルス光源からシーケンシャルに出力される複数の光パルスによって行われる露光プロセスの露光量を制御する方法において、前記露光プロセスに必要な露光総エネルギから現在までに出力された光パルスのエネルギを引いた残りのエネルギに応じて、次回に出力される光パルスのエネルギを規定することを特徴とする露光量制御方法。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521 ,  H01S 3/225

FI (3件)：

H01L 21/30 515 B ,  H01L 21/30 516 D ,  H01S 3/223 E

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-250320   出願人：キヤノン株式会社