特許

J-GLOBAL ID：200903031320755601

酸化亜鉛育成用種結晶とその作成方法

発明者： 吉岡 賢冶 ,  米山 博 ,  清水 湯隆 ,  堀川 晃司
出願人/特許権者： 東京電波株式会社
代理人 (1件)： 脇 篤夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-342344
公開番号（公開出願番号）：特開2003-146799
出願日： 2001年11月07日
公開日（公表日）： 2003年05月21日
要約：

【要約】【課題】 c軸方向の長さが長く、接合部に結晶欠陥領域のない酸化亜鉛(ZnO)の種結晶を得る。【解決手段】 酸化亜鉛の単結晶を種結晶として、水熱合成法で単結晶を育成する場合、六方晶構造のa軸方向に選択的に結晶成長し、c軸方向には殆ど成長しないので、種結晶のc軸長さより長い単結晶は得られない。従って種結晶用素材23a、23b、・・・の所定本数を、水熱合成法でc軸方向に接合した1次種結晶21を使用する。この時、僅かなa軸の方向の不一致(図(d)のΔθ)により、同心円状の結晶欠陥領域が接合面41に発生する。この結晶欠陥領域の影響を防止するために気相成長法(VPE)によって、1次種結晶21の表面に所定厚さのZnO膜2を成膜し、結晶欠陥領域がZnO膜2の表面まで到達しないようにする。

請求項（抜粋）：

酸化亜鉛の単結晶からなる複数個の種結晶素材を接合した1次種結晶と、上記1次種結晶の表面に成膜された酸化亜鉛薄膜と、からなることを特徴とする酸化亜鉛育成用種結晶。

Fターム (8件)：

4G077AA02 ,  4G077AA03 ,  4G077BB07 ,  4G077CB03 ,  4G077DB01 ,  4G077ED01 ,  4G077HA02 ,  4G077HA06

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 酸化亜鉛単結晶の育成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-278542   出願人：日本碍子株式会社