特許
J-GLOBAL ID：200903031365167441

パーフロロカーボン類測定装置

発明者：
川辺 哲也

川辺 哲也 について

, 
山本 明弘

山本 明弘 について


出願人/特許権者：
理研計器株式会社

理研計器株式会社 について


代理人 (1件)： 西川 慶治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-269733
公開番号（公開出願番号）：特開2001-091508
出願日： 1999年09月24日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：
【要約】【課題】 フッ素系洗浄剤の有無に関わり無く、管理濃度程度のパーフロロカーボン類を高い精度で測定すること。【解決手段】 第1の反応炉1と、吸湿筒4と第2の反応炉6と、酸性ガス検出手段である検知紙式ガス検出装置10とを直列に接続するともに、第1の反応炉1の加熱温度をフッ素系洗浄剤の熱分解が可能で、かつパーフロロカーボン類を可及的に変性させない温度に、また第2の反応炉6の加熱温度をパーフロロカーボン類が熱分解する温度に設定し、第1の反応炉1でフッ素系洗浄剤だけを酸性ガス類に熱分解して吸湿筒4により除去し、吸湿筒4を通過したパーフロロカーボン類の過剰な水分を除去してから第2の反応炉6で酸性ガスに確実に熱分解する。
請求項（抜粋）：
第1の反応炉と、担持体に吸湿剤を担持させた吸湿筒と、第2の反応炉と、酸性ガス検出手段とを直列に接続するともに、第1の反応炉の加熱温度をフッ素系洗浄剤の熱分解が可能で、かつパーフロロカーボン類を可及的に変性させない第1の温度に、また第2の反応炉の加熱温度を前記パーフロロカーボン類が熱分解する第2の温度に設定してなるパーフロロカーボン類測定装置。
IPC (4件)：
G01N 31/12 ,  G01N 1/22 ,  G01N 1/28 ,  G01N 31/00
FI (5件)：
G01N 31/12 A ,  G01N 1/22 R ,  G01N 31/00 U ,  G01N 31/00 Q ,  G01N 1/28 K
Fターム (10件)：
2G042AA01 ,  2G042BD02 ,  2G042BD20 ,  2G042CA10 ,  2G042CB01 ,  2G042DA05 ,  2G042EA20 ,  2G042FA20 ,  2G042HA02 ,  2G042HA07
引用特許：
審査官引用 (1件)

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