浮上搬送装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：福森久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-182492
公開番号（公開出願番号）：特開2001-010724
出願日： 1999年06月28日
公開日（公表日）： 2001年01月16日
要約：

【要約】【課題】本発明は、板状基体の形状や重量の影響を除き、板状基体に対して迅速な調芯をすることができる浮上搬送装置を提供する。【解決手段】板状の搬送面(上面11)を具備し、この搬送面に沿って板状基体を送るための基部1と、搬送面から気体を噴出することによって、板状基体を搬送面から浮上させると共に浮上した板状基体を搬送面に沿って移動させる第1噴出手段と、第1噴出手段によって浮上した板状基体を搬送面の中心位置I2に保つために、気体を噴出する第2噴出手段(2F1〜2H1,2F2〜2H2)とを備えた。

請求項（抜粋）：

板状の搬送面を具備し、この搬送面に沿って板状基体を送るための基部と、前記搬送面から気体を噴出することによって、板状基体を前記搬送面から浮上させると共に浮上した板状基体を前記搬送面に沿って移動させる第1噴出手段と、前記第1噴出手段によって浮上した板状基体を前記搬送面の中心位置に保つために、気体を噴出する第2噴出手段とを備えたことを特徴とする浮上搬送装置。

IPC (3件)：

B65G 51/03 , B65G 49/06 , H01L 21/68

FI (3件)：

B65G 51/03 A , B65G 49/06 Z , H01L 21/68 A

Fターム (5件)：

5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031FA01 , 5F031FA02 , 5F031GA63

引用特許：

審査官引用 (4件)

エア搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-318693 出願人：富山日本電気株式会社
薄板状基体搬送装置及び薄板状基体搬送方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-328052 出願人：株式会社渡邊商行
ストリップ巻取機のサイドガイド設備
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-238085 出願人：石川島播磨重工業株式会社, 川崎製鉄株式会社

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