特許
J-GLOBAL ID：200903031371196828
非晶質相含有被覆層及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
上代 哲司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-021076
公開番号（公開出願番号）：特開平9-209120
出願日： 1996年02月07日
公開日（公表日）： 1997年08月12日
要約：
【要約】【課題】 窒化チタン被覆層の耐磨耗性の向上と、低い摩擦係数を両立させる。【解決手段】 硬質基体上に形成された窒化チタン被覆層にイオン注入することで、TiNとTiB2とからなる非晶質相と結晶質相を、粒径が1nm以上20nm以下の大きさを持った粒状に析出させたことを特徴とする非晶質相含有物質であって、その製法は注入するイオンを一価硼素イオンとしたイオン注入法であり、注入温度が150°C以下、注入時の一価硼素イオンのエネルギーが100〜300keV、一価硼素イオンの注入量を5×1017イオン/cm2以上とした。
請求項（抜粋）：
硬質基体上に形成された窒化チタン被覆層の表面から深さ0.5μm近くの領域において、非晶質相と結晶質相とが粒径1nm以上、20nm以下の大きさの粒状に混在していることを特徴とする非晶質相含有被覆層。
IPC (4件)：
C23C 14/06
, C23C 14/48
, B23B 27/14
, B23P 15/28
C23C 14/06 A
, C23C 14/48 A
, B23B 27/14 A
, B23P 15/28 A
