回転処理装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金本哲男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-025833
公開番号（公開出願番号）：特開平10-209254
出願日： 1997年01月24日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：

【要約】【課題】被処理基板を回転台で回転させながら、この被処理基板に対して所定の処理を施す装置において、回転台が所定の回転速度にはない状態においても、被処理基板を確実に保持する。【解決手段】モータ24によって回転する回転テーブル25の周縁部に、保持部33を一端部に備えた保持部材31を、回動支点32を中心として回動自在に構成する。付勢部材36によって常態では保持部33は中心側へと付勢される。保持部材31の他端部にある被加圧部34が、エアシリンダ41によって上昇される加圧部材44で加圧されると保持が解除される。保持部材31の被加圧部34側は重錘を兼ねており、回転テーブル25が回転すると遠心力の作用により、前記保持はより強固になる。

請求項（抜粋）：

回転駆動源によって回転される回転台と、この回転台と共に回転し、かつ該回転台の上方で被処理基板の周縁部を保持自在な保持部材とを備え、前記回転台の回転によって被処理基板を回転させながら、この被処理基板に対して所定の処理を施す装置において、回転台の下方に配置され、駆動機構によって上下方向に駆動される加圧部材と、回転台の周縁部近傍に回動支点を有する3以上の保持部材とを有し、各保持部材は、回動支点を中心として回転台に対して半径方向に回動自在であり、各保持部材の一端部には保持部が設けられ、他端部には被加圧部が設けられ、各保持部材の保持部を回転台中心側に付勢する付勢部材が回転台に設けられ前記被加圧部は、前記加圧部材によって前記付勢部材の付勢方向とは逆の方向に加圧されうるように構成され、さらに各保持部材には、前記回動支点よりも下方に位置する箇所に重錘が設けられたことを特徴とする、回転処理装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , H01L 21/027 , H01L 21/304 341

FI (4件)：

H01L 21/68 N , H01L 21/304 341 C , H01L 21/30 564 C , H01L 21/30 569 C

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開平1-162347
静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-143739 出願人：日新電機株式会社
特開平4-193951

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審査官引用 (4件)

特開平1-162347
静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-143739 出願人：日新電機株式会社
特開平4-193951

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