特許

J-GLOBAL ID：200903042225753237

静電チャック

発明者： 岩澤 康司
出願人/特許権者： 日新電機株式会社
代理人 (1件)： 原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-143739
公開番号（公開出願番号）：特開平8-340683
出願日： 1995年06月09日
公開日（公表日）： 1996年12月24日
要約：

【要約】【構成】 静電チャック本体1の外周近傍には、複数の脱落防止機構7が設けられている。静電チャック本体1がウェハ5を吸着しているとき、該脱落防止機構7の有する爪部8の上方突端部8aは、ウェハ5の外縁の上方に僅かばかり張り出している。静電チャック本体1に付着したゴミなどによって、不所望に静電チャック本体1の吸着力が低下し、ウェハ5を保持できなくなった場合、上記複数の上方突端部8aがウェハ5を支持する。【効果】 不所望に静電チャック本体1の吸着力が低下した場合に、ウェハ5の脱落を防ぐと共に、静電チャック本体1の載置面1aにイオンビームが照射されるのを防ぐ。

請求項（抜粋）：

静電気力によって被保持物を載置面上に吸着保持する静電チャックにおいて、上記載置面の外周近傍に配され、載置面上に吸着保持された被保持物の端縁部の一部を当該被保持物とは非接触状態で覆う脱落防止位置と、被保持物の載置面への着脱が可能となるように載置面を開放する退避位置との間を変位自在に設けられた、複数の脱落防止用支持部材と、上記複数の脱落防止用支持部材を、上記脱落防止位置と退避位置との間で切り替えて移動させる駆動手段とを有する脱落防止機構を備えたことを特徴とする静電チャック。

IPC (5件)：

H02N 13/00 ,  B23Q 3/15 ,  H01L 21/265 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

H02N 13/00 D ,  B23Q 3/15 D ,  H01L 21/68 R ,  H01L 21/265 E ,  H01L 21/302 B

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 静電チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-038072   出願人：住友金属工業株式会社
• スライド軸受
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-054733   出願人：東京エレクトロン株式会社
• 特開平3-174719