特許

J-GLOBAL ID：200903031380633491

電気めっき試験器の陰極カートリッジ

発明者： 山本 渡
出願人/特許権者： 株式会社山本鍍金試験器
代理人 (1件)： 磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-110402
公開番号（公開出願番号）：特開2003-301299
出願日： 2002年04月12日
公開日（公表日）： 2003年10月24日
要約：

【要約】【課題】 被めっき物の被めっき面以外の陰極部をめっき液から遮断することができる電気めっき試験器の陰極カートリッジを提供する。【解決手段】 陰極カートリッジNは、被めっき物であるシリコンウエハWの被めっき面Waに電気を伝導させる陰極伝導体10と、シリコンウエハWの表面側(被めっき面Wa側)を覆い、陰極伝導体10を保持する第1の絶縁体20と、シリコンウエハWの裏面側(被めっき面Waの反対側)を覆い、シリコンウエハWを保持する第2の絶縁体30とから構成される。シリコンウエハWの被めっき面Wa以外の陰極部は、第1の絶縁体20に嵌着される第1のOリング22と、第2の絶縁体30に嵌着される第2のOリング32とによりめっき液から遮断される。

請求項（抜粋）：

陰極板である被めっき物の被めっき面の外形に開口され、前記めっき面の周面に当接する複数の突起部及びめっき液に漬からない部分で電源の陰極に接続される電源接続部を有する板状の陰極伝導体と、前記被めっき物の被めっき面側を覆い、前記被めっき面の外形に開口された開口部、前記開口部の外周側に形成され第1のシール部材が嵌着される第1のシール部材嵌着溝、前記第1のシール部材嵌着溝の外周側に形成され前記陰極伝導体が嵌着される陰極伝導体嵌着溝及び前記陰極伝導体嵌着溝と連続して形成され前記電源接続部が挿通される電源接続部挿通孔を有する板状の第1の絶縁体と、前記被めっき物の被めっき面の反対側を覆い、前記被めっき物が嵌着される被めっき物嵌着溝及び前記被めっき物嵌着溝の外周側における前記第1の絶縁体と合体させた際に前記電源接続部挿通孔の入口の外周側となる位置に形成され第2のシール部材が嵌着される第2のシール部材嵌着溝を有する板状の第2の絶縁体とを備え、前記第1の絶縁体と前記第2の絶縁体とを合体させて、前記第1の絶縁体と前記第2の絶縁体とで、前記被めっき物及び前記陰極伝導体を挟持するように構成したことを特徴とする電気めっき試験器の陰極カートリッジ。

IPC (5件)：

C25D 17/10 ,  C25D 7/12 ,  C25D 17/06 ,  C25D 17/08 ,  C25D 21/12

FI (5件)：

C25D 17/10 B ,  C25D 7/12 ,  C25D 17/06 C ,  C25D 17/08 R ,  C25D 21/12 C

Fターム (8件)：

4K024AA03 ,  4K024AA09 ,  4K024BA12 ,  4K024BA15 ,  4K024BB12 ,  4K024CB02 ,  4K024CB08 ,  4K024CB19

引用特許：

出願人引用 (1件)

• ウエハのメッキ用治具
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-312362   出願人：株式会社荏原製作所