特許
J-GLOBAL ID：200903046745747600

ウエハのメッキ用治具

発明者：
吉岡 潤一郎

吉岡 潤一郎 について

, 
斎藤 信利

斎藤 信利 について

, 
笹部 憲一

笹部 憲一 について


出願人/特許権者：
株式会社荏原製作所

株式会社荏原製作所 について


代理人 (1件)： 熊谷 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-312362
公開番号（公開出願番号）：特開平11-200096
出願日： 1998年11月02日
公開日（公表日）： 1999年07月27日
要約：
【要約】【課題】 電気抵抗を小さくでき、取り付け作業が容易で、容易に通電ピンの位置や本数の変更が可能で、配線等の収納スペースが不要でコンパクト化が図れるウエハのメッキ用治具を提供する。【解決手段】 ウエハ100の表裏面を挟持する第一保持部材10及び第二保持部材40を具備する。第二保持部材40はウエハ100の電解メッキを施す面を露出する開口41を有するとともに、開口41の周囲の第一保持部材10及び第二保持部材40の間にシールパッキン43を設け、シールパッキン43でメッキ液の浸入しない領域Bを形成し、さらに領域Bの部分には通電部材60-1を取り付ける。通電部材60-1は第二保持部材40側に取り付けられるリング状の導通部61-1と導通部61-1から第一保持部材10側に向けて突出してウエハ100に当接する通電ピン63-1とによって構成する。
請求項（抜粋）：
ウエハをその電解メッキを施す面を露出するように保持するウエハのメッキ用治具において、前記ウエハのメッキ用治具はウエハの表裏面を挟持する第一保持部材及び第二保持部材を具備し、第二保持部材はウエハの電解メッキを施す面を露出する開口を有するとともに、該開口の周囲に少なくとも第二保持部材とウエハとに当接するシール部材を設け、該シール部材でメッキ液の浸入しない領域を形成し、さらに該領域の部分には通電部材を取り付け、前記通電部材は前記第二保持部材側に取り付けられるリング状の導通部と該導通部から第一保持部材側に向けて突出してウエハに当接する通電ピンとによって構成されていることを特徴とするウエハのメッキ用治具。
IPC (2件)：
C25D 17/08 ,  C25D 7/12
FI (2件)：
C25D 17/08 Q ,  C25D 7/12
引用特許：
審査官引用 (7件)
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