特許

J-GLOBAL ID：200903031396132751

光ディスク製造用スピンコート装置

発明者： 石塚 誠治 ,  片桐 良伸 ,  杉山 正
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 柳川 泰男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-352406
公開番号（公開出願番号）：特開平11-165115
出願日： 1997年12月04日
公開日（公表日）： 1999年06月22日
要約：

【要約】【課題】 ノズルの先端部分に塗布液が付着しにくく、長時間連続して塗膜形成を行なうことができる光ディスク製造用のスピンコート装置を提供する。【解決手段】 塗布液を円盤状基板の表面に付与するためのノズルを有する塗布液付与装置、該装置の下方に配置された回転可能なスピナーヘッド装置、回転している基板上に塗布液付与装置のノズルから付与されたのち、基板の外周縁部から外側に放出される塗布液の周辺への飛散を防止するための飛散防止壁、及び該防止壁の上方に形成される開口から取り入れた空気を装置の下方から排気するようにされてなる排気装置からなるスピンコート装置であって、少なくともノズルの先端端面及びその端面から1mmの範囲の内側及び外側の壁面がポリテトラフルオロエチレンからなる表面を有することを特徴とするスピンコート装置。

請求項（抜粋）：

塗布液を円盤状透明樹脂基板の表面に付与するためのノズルを有する塗布液付与装置、該塗布液付与装置の下方に配置され、上記基板を水平に保持するための、軸回転が可能とされているスピナーヘッド装置、該スピナーヘッドにより水平に保持された状態で回転している基板上に該塗布液付与装置のノズルから付与されたのち、基板表面上を外周側に流延し、基板の外周縁部から外側に放出される塗布液の周辺への飛散を防止するための、上部に開口を形成して配置された飛散防止壁、そして該開口から取り入れた空気を基板表面上に流通させた後、スピナーヘッド装置の下方から排気するようにされてなる排気装置からなる光ディスク製造用スピンコート装置であって、少なくともノズルの先端端面及びその端面から1mmの範囲の内側および外側の壁面がポリテトラフルオロエチレンからなる表面を有することを特徴とする光ディスク製造用スピンコート装置。

IPC (3件)：

B05C 11/08 ,  G11B 7/26 531 ,  B05D 1/40

FI (3件)：

B05C 11/08 ,  G11B 7/26 531 ,  B05D 1/40 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

• ディスペンス用ノズル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-260568   出願人：東ソー株式会社
• スピンコーター
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-230373   出願人：三菱化学株式会社, 日本たばこ産業株式会社
• 特公平7-118094
  
• 特公平7-118094