特許

J-GLOBAL ID：200903031424815398

スプレイ塗布によるスピンコーティング方法とそのスピンコータ

発明者： 市川 英政 ,  松田 利成 ,  岩崎 元紀
出願人/特許権者： ノードソン株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-152757
公開番号（公開出願番号）：特開平7-328517
出願日： 1994年06月10日
公開日（公表日）： 1995年12月19日
要約：

【要約】【目的】 スピンコーティングにおける塗液の付与をスプレイによって行うことと、さらに塗液中に含まれるの溶媒の蒸発を抑止して、塗液の粘度変化を防止すること。【構成】 スピンコータのチャンバ内において、チャンバの上下中心軸線上、その上方部にスプレイノズルを設けることである。その他、上記中心軸線上、下部にバキュウム式チャック盤を設けることは従来と同様である。更に上記塗液スプレイ時において、塗液中の溶媒の蒸発を防ぐため、同チャンバ内部に、同溶媒飽和蒸気を吹き込み、又は冷却エア、加圧エアを吹き込むことである。

請求項（抜粋）：

スピンコーティングにおいて、板状被塗物に対し、先ず塗液をノズルよりスプレイ塗布し、概ね膜状に塗布された液膜を、高速回転による遠心力により極薄膜状化し塗着せしめることを特徴とするスプレイ塗布によるスピンコーテイング方法。

IPC (4件)：

B05C 11/08 ,  B05D 1/40 ,  G03F 7/16 502 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (4件)

• スピン・コーティング装置および方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-239297   出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
• 有機材の回転塗布方法とその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-327928   出願人：富士通株式会社
• 特開平2-288220
  
• 特開昭62-154794