特許

J-GLOBAL ID：200903031453134022

窒化物材料のエッチング方法

発明者： 彭 隆瀚 ,  荘 志偉 ,  何 晉國 ,  陳 金源
出願人/特許権者： 財団法人工業技術研究院
代理人 (1件)： 川合 誠 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-362340
公開番号（公開出願番号）：特開平11-229199
出願日： 1997年12月12日
公開日（公表日）： 1999年08月24日
要約：

【要約】【課題】紫外光を放射する水銀ランプを利用して窒化物材料をエッチングすることによって、エッチングの平面の平坦(たん)度を高くする。【解決手段】窒化物材料30上にめっきによって電極を形成し、前記窒化物材料30をホルダ兼照明用装置10に配設し、前記窒化物材料30、電極及びホルダ兼照明用装置10を電解エッチング液に浸し、光源によって遠紫外光を放射して前記窒化物材料30を照射し、窒化物材料30上の電極及び電解エッチング液中の電極を電流計50に連結し、エッチング電流をモニタリングしてエッチングの深さを制御する。遠紫外光を放射して窒化物材料30を照射すると、窒化物材料30において電子・正孔対が生じる。そして、正孔が窒化物材料30の酸化工程に関与して酸化物が生成されるとともに、正孔が電解エッチング液に溶解させられ、閉じた回路が形成される。

請求項（抜粋）：

(a)窒化物材料上にめっきによって電極を形成し、(b)前記窒化物材料をホルダ兼照明用装置に配設し、(c)前記窒化物材料、電極及びホルダ兼照明用装置を電解エッチング液に浸し、(d)光源によって遠紫外光を放射して前記窒化物材料を照射し、(e)窒化物材料上の電極及び電解エッチング液中の電極を電流計に連結し、エッチング電流をモニタリングしてエッチングの深さを制御することを特徴とする窒化物材料のエッチング方法。

IPC (3件)：

C25F 3/12 ,  H01L 21/306 ,  H01L 21/3063

FI (4件)：

C25F 3/12 ,  H01L 21/306 U ,  H01L 21/306 E ,  H01L 21/306 L

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 湿式プロセスにおけるめっき膜厚およびエッチング溝深さの測定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-130576   出願人：三菱電機株式会社