特許

J-GLOBAL ID：200903031455289066

偏光波面3分割光学装置

発明者： 柳川 孝二 ,  塚本 勝男 ,  川田 勝 ,  岡田 繁信
出願人/特許権者： 宇宙開発事業団 ,  財団法人宇宙環境利用推進センター ,  塚本 勝男 ,  株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 縣 浩介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-120947
公開番号（公開出願番号）：特開平9-281441
出願日： 1996年04月17日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：

【要約】【課題】偏光干渉計で試料につき2次元的な測定を高速で行うため、干渉計出射光を3方向の偏光に分け3台のテレビカメラで撮像し、データ処理する方法に対し、装置を小型化し調整を容易にする。【構成】カラー用3CCDカメラの波面分割プリズムの第1,第2の波面分割面を透過光に関し、S偏光P偏光間の位相が透過の前後で不変な面とすると共に、第1波面分割面は反射光1対透過光2の強度比、第2波面分割面は反射光1対透過光1の強度比となるようにし、上記3分割された3つの光の出射端面に互に方向を変えて偏光子を配置した。

請求項（抜粋）：

複数のプリズムよりなり、プリズムの境界面によって光入射側からみて第1の波面分割面と第2の波面分割面が形成されて、入射光を第1の波面分割面で反射光と透過光に分割し、この透過光を第2の波面分割面で反射光と透過光に分割して全体で3光束に分割するようにしたプリズムの集合で、入射端面から各光束の出射端面までの光路長が互に等しく、上記第1の波面分割面がプリズムの境界面に形成された誘電体多層膜により形成されて反射光強度1に対して透過光強度2の比率で波面分割すると共に、透過光に対してS偏光とP偏光の位相差が透過前と不変に保たれる面であり、上記第2の波面分割面がプリズムの境界面に形成された誘電体多層膜で形成されて、反射光強度と透過光強度の比を1対1に波面分割すると共に、透過光に対してS偏光とP偏光の位相差が透過前と不変に保たれる面であり、上記3分割された各光束のうち第1の波面分割面からの反射光の出射端面にS偏光或はP偏光の何れかを透過させる偏光子を設け、第2の波面分割面からの反射光の出射端面に、上記偏光子と直交する偏光子を設け、第2の波面分割面を透過した光の出射端面にはS偏光,P偏光に対し45°の方位となるよう偏光子を設け、上記各偏光子の後方に各光の出射端面に対向させてCCD素子を配置してなることを特徴とする偏光波面3分割光学装置。