照明光学装置及び該装置に使用されるフライアイレンズ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大森聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-062429
公開番号（公開出願番号）：特開平8-262367
出願日： 1995年03月22日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：

【要約】【目的】装置を大型化することなくフライアイレンズの正弦条件不満足量を小さくして、照度及び照明開口数の両方の均一性を高める。【構成】光源1からの光束が、集光鏡2、コリメータレンズ3、及びバンドパスフィルタ4を介してフライアイレンズ9の入射側の面91に入射し、フライアイレンズ9の射出側の面92に多数の光源像が形成される。その面92には開口絞り6が設置され、開口絞り6の開口内の多数の光源像から発散する光束は、コンデンサーレンズ7により集光されて、レチクルのパターン形成面上の照明領域8を重畳的に均一な照度分布で照明する。フライアイレンズ9の各レンズ要素を2群2枚のレンズより構成し、各レンズ要素の屈折力を2つの屈折面で担うことにより、フライアイレンズの正弦条件の補正を行う。

請求項（抜粋）：

照明光を発生する光源と、該光源からの照明光を所定の面に導く光束整形光学系と、前記所定の面に入射面が配置され前記照明光より複数個の光源像を形成するフライアイレンズと、前記複数個の光源像からの照明光を重畳して被照射面を照明するコンデンサーレンズ系と、を有する照明光学装置において、前記フライアイレンズを構成する複数個のレンズ要素はそれぞれ、前記照明光の入射面から射出面までの間に少なくとも3つの所定の屈折力を有する屈折面を有することを特徴とする照明光学装置。

IPC (4件)：

G02B 27/18 , G02B 3/00 , G02F 1/13 101 , G03F 7/20 521

FI (4件)：

G02B 27/18 A , G02B 3/00 A , G02F 1/13 101 , G03F 7/20 521

引用特許：

出願人引用 (1件)

露光用照明装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-046140 出願人：株式会社ニコン

審査官引用 (1件)

露光用照明装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-046140 出願人：株式会社ニコン

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