特許
J-GLOBAL ID：200903031482550965

高性能高信頼性小型光パワーモニタ及びその製造方法

発明者：
チョウ チェン シ

チョウ チェン シ について


出願人/特許権者：
パクトニクス インコーポレイテッド

パクトニクス インコーポレイテッド について


代理人 (1件)： 高石 橘馬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-015349
公開番号（公開出願番号）：特開2004-006638
出願日： 2003年01月23日
公開日（公表日）： 2004年01月08日
要約：
【課題】小型で高信頼性のパワーモニタ装置の簡単で信頼性の高い構造及び製造方法を提供する。【解決手段】(a) 入射光を平行ビームにするコリメータ手段120と、(b) コリメータ手段上に形成された部分透過反射膜を有する部分透過反射手段125と、(c) コリメータ手段に入る入射光ビームを受信する入力光ポート106と、部分透過反射手段が反射した出力光ビームを受信する出力光ポート107とを有するデュアルファイバフェルール110と、(d) 部分透過反射膜から来る平行ビームのタップ部分を受信して光強度を検出する光信号検出手段140とを具備し、平行ビームのタップ部分を通過させることにより光パワーを測定し監視することを特徴とする光パワーモニタ。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
(a) 入射光を平行ビームにするコリメータ手段と、(b)その光パワーを測定し監視するために前記平行ビームの一部を通過させる部分透過反射手段とを具備し、前記部分透過反射手段がコリメータ手段上に形成された部分透過反射膜を有することを特徴とする光パワーモニタ。
IPC (4件)：
H01L31/0232 ,  G01J1/02 ,  G01M11/00 ,  G02B5/08
FI (4件)：
H01L31/02 D ,  G01J1/02 K ,  G01M11/00 U ,  G02B5/08 D
Fターム (20件)：
2G065AA04 ,  2G065AA12 ,  2G065AB14 ,  2G065BA09 ,  2G065BB02 ,  2G065BB06 ,  2G065BB07 ,  2G065BB14 ,  2G065BB27 ,  2G065DA13 ,  2G086DD05 ,  2H042DA08 ,  2H042DB01 ,  2H042DE09 ,  5F088AA01 ,  5F088BA15 ,  5F088BA16 ,  5F088JA12 ,  5F088JA13 ,  5F088JA14
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (11件)
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