圧電素子および圧電素子の分極処理方法並びに振動ジャイロ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：本多小平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-337245
公開番号（公開出願番号）：特開平7-198392
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年08月01日
要約：

【要約】【目的】 1枚の圧電素子に多機能性を持たせることを目的とする。【構成】曲げ振動を検出するために厚み方向に分極処理され第1の領域と、例えばねじれ振動を検出するために周方向に分極処理された第2の領域とを一枚の圧電素子に設けるもので、表裏で対向する仮電極間を同電位とし、隣接する仮電極間に電位差を与え、仮電極8-1と8-3をグランドとし、仮電極8-2と8-4に正の電圧+Vを印加することで、圧電素子3には矢印で示すように仮電極間に時計回りと反時計回りに滑りを生じるようなねじり歪みが発生し、これでねじり用の分極処理が終了し、ついで表側の電極8-6、8-7と裏側の電極8-5、8-8に正の極性の電圧+Vを印加し、それ以外の電極をグランド電位とすると、矢印に示す面外方向に分極処理が施される。。

請求項（抜粋）：

第1の領域が厚み方向に分極処理され、第2の領域が周方向に分極処理されていることを特徴とする圧電素子。

IPC (4件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 41/09 , H01L 41/22

FI (2件)：

H01L 41/08 C , H01L 41/22 B

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