特許
J-GLOBAL ID：200903031510550909

光路変換デバイスおよびその製造方法

発明者：
平松 星紀

平松 星紀 について


出願人/特許権者：
三菱電機株式会社

三菱電機株式会社 について


代理人 (1件)： 曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-307512
公開番号（公開出願番号）：特開2003-114365
出願日： 2001年10月03日
公開日（公表日）： 2003年04月18日
要約：
【要約】【課題】 この発明は、光結合用光導波路をアレイ化して、光結合用光導波路の反りの発生を抑えるとともに、複数の光結合用光導波路をユニット単位で位置決めを可能とする光路変換デバイスおよびその製造方法を得る。【解決手段】 アレイ型光結合用光導波路ユニット30A、30Bは、4本のコア31がその光軸を平行に、かつ、同一平面上に位置させて配列された状態で、素ラッド32に埋設一体化されて作製され、アレイ型光変換素子ユニット10の光電変換素子とミラー40との間に、コア31の光軸がコア21の光軸と、ミラー40上で交差し、かつ、ミラー40上の該交差点における垂線に対して対称となり、さらに光電変換素子の素子面の中心を通るように配設されている。
請求項（抜粋）：
少なくとも2つの光電変換素子が基板上に配設されたアレイ型光電変換素子ユニットと、少なくとも2つの光導波路がその光軸を平行に、かつ、同一平面上に位置させて配列一体化されたアレイ型光導波路ユニットと、上記アレイ型光導波路ユニットの各光導波路の端部にそれぞれ設けられて該光導波路の光軸に対して所定の角度を有するミラーと、少なくとも2つの光結合用光導波路がその光軸を平行に、かつ、同一平面上に位置させて配列一体化されてなり、上記アレイ型光変換素子ユニットの光電変換素子と上記ミラーとの間に、該光結合用光導波路の光軸が上記光導波路の光軸と、該ミラー上で交差し、かつ、該ミラー上の該交差点における垂線に対して対称となり、さらに該光電変換素子の素子面の中心を通るように配設されているアレイ型光結合用光導波路ユニットとを備えたことを特徴とする光路変換デバイス。
IPC (3件)：
G02B 6/42 ,  G02B 6/122 ,  H01L 31/0232
FI (3件)：
G02B 6/42 ,  G02B 6/12 B ,  H01L 31/02 C
Fターム (16件)：
2H037AA01 ,  2H037BA02 ,  2H037BA11 ,  2H037CA36 ,  2H037CA38 ,  2H037DA03 ,  2H037DA06 ,  2H047KA03 ,  2H047KB08 ,  2H047LA09 ,  2H047MA07 ,  2H047TA05 ,  2H047TA32 ,  2H047TA44 ,  5F088BA16 ,  5F088JA14
引用特許：
審査官引用 (4件)
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