特許

J-GLOBAL ID：200903031587438001

位置決め装置

発明者： 田中 修
出願人/特許権者： マイクロ・テック株式会社
代理人 (1件)： 溝井 章司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-284469
公開番号（公開出願番号）：特開平9-103936
出願日： 1995年10月05日
公開日（公表日）： 1997年04月22日
要約：

【要約】【課題】 θ方向に精確な位置決めを行うことができる位置決め装置を得る。【解決手段】 回転軸に対して回転可能に取り付けられたテーブルに、半径方向に沿って当接面を提供する押し板を備え、上記当接面と当接するカムフォロアを有するカムフォロアユニットを、当接面と直交する方向に移動させることにより、テーブルをθ方向に回転させる。

請求項（抜粋）：

以下の要素を有する位置決め装置(a)回転軸を有する基台、(b)上記基台の回転軸に対して回転可能に取り付けられるとともに、半径方向に沿って当接面を有するテーブル、(c)上記テーブルの当接面と当接するカムフォロアを有するカムフォロアユニット、(d)上記基台に取り付けられ、上記カムフォロアユニットを当接面と直交する方向に移動させる移動手段。

引用特許：

出願人引用 (1件)

• XYθテーブル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-330056   出願人：マイクロ・テック株式会社

審査官引用 (1件)

• XYθテーブル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-330056   出願人：マイクロ・テック株式会社