特許
J-GLOBAL ID：200903031596039560

クリーンボックス、クリーン搬送方法及び装置

発明者：
宮嶋 俊彦

宮嶋 俊彦 について


出願人/特許権者：
ティーディーケイ株式会社

ティーディーケイ株式会社 について


代理人 (1件)： 村井 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-294880
公開番号（公開出願番号）：特開平11-121602
出願日： 1997年10月13日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：
【要約】【課題】 内部空間を窒素、不活性ガス等の非酸化性ガスで簡単に置換可能な構造を持つクリーンボックスを用いて、被搬送物を非酸化性ガスによる封止状態で移送する。【解決手段】 一側面に開口を有するボックス本体11と、該開口を気密に閉成する横蓋と、ボックス本体11に設けられたガス導入・排出バルブ30A,30Bとを備え、排気手段及び移送手段を持たないクリーンボックス10を用い、前記横蓋でボックス本体11の開口を閉成した状態においてガス給排機構41によりガス導入・排出バルブ30A,30Bを開き、一方のガス導入・排出バルブ30Aを通して非酸化性ガスをクリーンボックス10内に導入し、前記非酸化性ガス導入前に前記クリーンボックス内を充たしていたガスを他方のガス導入・排出バルブ30Bより排出する構成である。
請求項（抜粋）：
一面に開口を有するボックス本体と、該開口を気密に閉成する開閉蓋と、前記ボックス本体に設けられたガス導入バルブ及びガス排出バルブとを備え、排気手段及び移送手段を持たないことを特徴とするクリーンボックス。
IPC (2件)：
H01L 21/68 ,  B65G 49/00
FI (3件)：
H01L 21/68 T ,  H01L 21/68 A ,  B65G 49/00 A
引用特許：
審査官引用 (3件)

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