電流電圧非線形素子およびその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：住吉多喜男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-089607
公開番号（公開出願番号）：特開平6-302879
出願日： 1993年04月16日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：

【要約】【目的】大面積にわたり膜厚と膜質が均一な電圧電流非線形素子を得る。【構成】絶縁基板1上に下部電極膜2および絶縁膜3ならびに上部電極膜4を順次積層して構成した電流電圧非線形素子であって、下部電極膜および絶縁膜ならびに上部電極膜にビスマス(Bi)またはチタン(Ti)もしくはイットリウム(Y)の中から選ばれた一種以上の金属有機物溶液を塗布した後焼成して形成された金属または金属酸化物を用いる。

請求項（抜粋）：

絶縁基板上に下部電極膜および絶縁膜ならびに上部電極膜を順次積層して構成した電流電圧非線形素子であって、前記下部電極膜および絶縁膜ならびに上部電極膜が金属有機物溶液を塗布した後焼成して形成された金属または金属酸化物であることを特徴とする電流電圧非線形素子。

IPC (2件)：

H01L 49/02 , H01L 21/28 301

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平1-114825
特開平3-184890
特開昭61-227311

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