特許

J-GLOBAL ID：200903031610763861

電動スキャニングテーブル付き共焦点顕微鏡

発明者： エバーハルト・デルンディンガー ,  ペーター・オット ,  ノルベルト・ツァーネツキー ,  トーマス・シェリュブル
出願人/特許権者： カール・ツアイス・スティフツング
代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-316878
公開番号（公開出願番号）：特開平10-326587
出願日： 1997年11月18日
公開日（公表日）： 1998年12月08日
要約：

【要約】【課題】 大きな画面領域を短時間で検査できる顕微鏡を提供する。【解決手段】 標本(8)は、光源を経て同時に多くの箇所を照射され、標本(8)で反射あるいは発散した光が標本(8)と光源に結合した絞りアレイ(4)を経て検出される。検出器としては、それぞれの位置間の電荷移動をスキャニング方向に行うことを可能にするセンサーアレイが考えられる。電荷移動はセンサーアレイ(11)面の画像点の動きに応じた標本(9)の動きと同期化される。それによって画像データは標本が動いている間に記録されることができるので、大きな標本領域も高い側面解像力で短時間で検出されることが可能である。

請求項（抜粋）：

顕微鏡光学軸に垂直に標本(8)を動かすための電動スキャニングテーブルと、顕微鏡対物レンズ焦点面に結合した面における絞りアレイ(4,4a,4b)と、多数の受光素子とその受光素子に対応した電荷蓄積素子、そして電荷蓄積素子に記憶された電荷を蓄積素子から蓄積素子へと移動させる装置を備えた、絞りアレイ(4,4b)の後方に設けられたセンサーアレイ(11)と、前記センサーアレイ(11)の面で標本点の画像点の動きに応じた電荷の移動を引き起こす同期化装置(13、24)とを備えたことを特徴とする共焦点顕微鏡。

IPC (3件)：

H01J 37/28 ,  H01J 37/20 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

H01J 37/28 B ,  H01J 37/20 D ,  H01L 21/66 K

引用特許：

出願人引用 (2件)

• パターン検査方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-181540   出願人：株式会社日立製作所
• 特開平4-348260