特許
J-GLOBAL ID：200903031615498619
洗浄方法及びその装置並びに移載装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-019822
公開番号（公開出願番号）：特開平8-195368
出願日： 1995年01月12日
公開日（公表日）： 1996年07月30日
要約：
【要約】【目的】 簡易な手法で収納容器における被処理体の配列ピッチの1/n倍のピッチで被処理体を処理槽あるいは保持手段へ搬送することができると共に処理槽の小型化を図る洗浄方法、洗浄装置及び移載装置を提供すること。【構成】 突き上げ部材32によりウエハカセットCから突き上げられたウエハW1を、ウエハチャック4が把持し中間保持部6に受け渡す。次いでウエハチャック4を移動させ、この後2番目のカセットC2内のウエハW2を移し替えると、ウエハW2は既に移し替えられているウエハW1に隣接する保持溝62に保持される。このようにして中間保持部6には前記配列ピッチの1/2倍のピッチでウエハは保持され、このウエハを第2のウエハチャック7で処理槽8内のウエハボート82に移し替えることにより、簡易な手法で前記配列ピッチの1/2倍のピッチでウエハWを処理槽8へ搬送することができると共に、処理槽内でのウエハの配列ピッチが狭くなるため処理槽の小型化が図られる。
請求項（抜粋）：
複数の被処理基板を、処理槽内の保持部材に縦向きに並列に保持させて洗浄処理液により洗浄処理する洗浄方法において、複数の被処理基板を収納する収納容器内の被処理基板を、前記収納容器における被処理基板の配列ピッチで第1の把持手段により、中間保持部に移し替える第1の移し替え工程と、前記第1の把持手段と中間保持部とを、前記移し替え工程時における相対位置に対して、被処理基板の配列方向に前記配列ピッチのm/n(nは2以上の整数、mは1以上の整数)倍分ずれた位置に相対的に移動させる移動工程と、前記中間保持部から被処理基板を前記配列ピッチの1/n倍のピッチで第2の把持手段により前記処理槽内の保持部材に移し替える第2の移し替え工程と、を備え、前記第1の移し替え工程と移動工程とを繰り返して、第1の移し替え工程をn回行なうことにより、前記中間保持部に被処理基板を、収納容器における配列ピッチの1/n倍のピッチで保持させることを特徴とする洗浄方法。
IPC (5件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/304
, C23G 1/00
, C23G 3/00
, H01L 21/68
