特許
J-GLOBAL ID：200903031646042087

表面検査方法および表面検査装置

発明者：
相田 英夫

相田 英夫 について

, 
岩田 哲也

岩田 哲也 について


出願人/特許権者：
システム精工株式会社

システム精工株式会社 について


代理人 (1件)： 筒井 大和 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-138222
公開番号（公開出願番号）：特開2000-329537
出願日： 1999年05月19日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：
【要約】【課題】 小型の装置によって被検査物の表面の欠陥を検査し得るようにする。【解決手段】 第1のレーザ光源20からのスポット状のレーザ光21はビーム拡大レンズ22により一方向に拡大されてライン状のレーザ光23となって被検査物10に照射され、被検査物10には第2のレーザ光源30からのスポット状のレーザ光31が照射される。被検査物10は回転駆動されるとともに、中心軸に沿う方向に往復動される。被検査物10に照射された前記ライン状のレーザ光23の被検査物10からの反射光23aを受光器25,26が受光し、第2のレーザ光源30から照射されて被検査物10により反射した散乱光31bを受光器35が受光し、受光器の検出波形によって被検査物10の表面欠陥が検出される。
請求項（抜粋）：
レーザ光源からのスポット状のレーザ光を一方向に拡大してライン状のレーザ光を形成して被検査物に前記ライン状のレーザ光を照射し、前記ライン状のレーザ光の前記被検査物の表面に対するラインに沿う方向の入射角度を走査し、前記ライン状のレーザ光を前記被検査物に対してラインの横方向に走査し、前記ライン状のレーザ光の前記被検査物からの反射光を受光して前記被検査物の表面欠陥を検出することを特徴とする表面検査方法。
IPC (2件)：
G01B 11/30 ,  G01N 21/88
FI (2件)：
G01B 11/30 A ,  G01N 21/88 630 A
Fターム (27件)：
2F065AA39 ,  2F065AA61 ,  2F065CC21 ,  2F065DD03 ,  2F065FF42 ,  2F065GG04 ,  2F065HH03 ,  2F065HH04 ,  2F065HH05 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ24 ,  2F065LL08 ,  2F065LL12 ,  2F065LL13 ,  2F065LL19 ,  2F065LL28 ,  2F065LL37 ,  2F065MM26 ,  2G051AA90 ,  2G051AB07 ,  2G051BA01 ,  2G051BA10 ,  2G051BC05 ,  2G051CA02 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05
引用特許：
出願人引用 (5件)
  • 特開昭59-180413
  • 表面欠陥検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-215472   出願人：昭和アルミニウム株式会社
  • 特開平1-301107
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審査官引用 (5件)
  • 特開平1-301107
  • 特開昭59-180413
  • 表面欠陥検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-215472   出願人：昭和アルミニウム株式会社
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