特許
J-GLOBAL ID:200903031688857404

電子素子評価装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小川 勝男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-174612
公開番号(公開出願番号):特開平9-026436
出願日: 1995年07月11日
公開日(公表日): 1997年01月28日
要約:
【要約】【目的】実デバイス上のサブミクロン領域に形成された、特定素回路の特性評価を可能にする。【構成】鋭利な先端を有する複数(n)本の探針を、試料表面の法線から傾け(30〜60°)、かつ方位角30°以上の間隔で配置するようにした。【効果】サブミクロン領域に同時に複数の探針を接触させられるため、実デバイス上での回路素子の特性解析が可能になる。
請求項(抜粋):
複数の探針を有する電子素子評価装置であって、前記探針の中心軸は測定すべき試料表面の法線より傾いており、かつ、試料面内の測定すべき点を中心として、方位角30°以上の間隔で配置されていることを特徴とする電子素子評価装置。
IPC (4件):
G01R 1/073 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/28 ,  H01L 21/66
FI (4件):
G01R 1/073 E ,  G01R 31/26 J ,  H01L 21/66 B ,  G01R 31/28 K
引用特許:
審査官引用 (1件)

前のページに戻る