特許

J-GLOBAL ID：200903031688857404

電子素子評価装置

発明者： 長谷川 剛 ,  細木 茂行 ,  土井 隆久 ,  河野 真貴子 ,  富松 聡
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-174612
公開番号（公開出願番号）：特開平9-026436
出願日： 1995年07月11日
公開日（公表日）： 1997年01月28日
要約：

【要約】【目的】実デバイス上のサブミクロン領域に形成された、特定素回路の特性評価を可能にする。【構成】鋭利な先端を有する複数(n)本の探針を、試料表面の法線から傾け(30〜60°)、かつ方位角30°以上の間隔で配置するようにした。【効果】サブミクロン領域に同時に複数の探針を接触させられるため、実デバイス上での回路素子の特性解析が可能になる。

請求項（抜粋）：

複数の探針を有する電子素子評価装置であって、前記探針の中心軸は測定すべき試料表面の法線より傾いており、かつ、試料面内の測定すべき点を中心として、方位角30°以上の間隔で配置されていることを特徴とする電子素子評価装置。

IPC (4件)：

G01R 1/073 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/28 ,  H01L 21/66

FI (4件)：

G01R 1/073 E ,  G01R 31/26 J ,  H01L 21/66 B ,  G01R 31/28 K

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 微小領域物性測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-302492   出願人：ソニー株式会社