特許
J-GLOBAL ID：200903031690793677
物品表面の洗浄方法と洗浄装置、およびこれらによる光学素子の製造方法と装置、並びに光学系、露光方法、露光装置、デバイス製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長尾 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-120015
公開番号（公開出願番号）：特開2001-300453
出願日： 2000年04月20日
公開日（公表日）： 2001年10月30日
要約：
【要約】【課題】大口径のレンズにおいてもコンパクトで溶剤等の洗浄液を殆ど使用することなく、紫外領域においてきわめて良好な光学特性を得る洗浄が可能となる物品表面の洗浄方法と洗浄装置、およびこれらによる光学素子の製造方法と装置、並びに光学系、露光方法、露光装置、デバイス製造方法を提供する。【解決手段】例えばイオン化された気体によって物品の表面の静電気を除去する静電気除去工程と、例えばレンズ材料等の結晶構造を維持する範囲内で高エネルギー光を照射することにより前記物品の表面の汚染物質を除去する汚染物質除去工程と、を有する物品表面の洗浄方法または装置、およびこれらによる光学素子の製造方法と装置、光学系、露光方法、露光装置、デバイス製造方法を構成する。
請求項（抜粋）：
物品の表面の静電気を除去する静電気除去工程と、前記物品の表面の汚染物質を除去する汚染物質除去工程と、を有することを特徴とする物品表面の洗浄方法。
IPC (4件)：
B08B 7/04
, B08B 5/00
, B08B 5/02
, H01L 21/027
B08B 7/04 Z
, B08B 5/00 A
, B08B 5/02 A
, H01L 21/30 503 G
3B116AA03
, 3B116AB01
, 3B116AB34
, 3B116AB42
, 3B116BB22
, 3B116BB77
, 3B116BB88
, 3B116BB89
, 3B116BC01
, 3B116CA05
, 3B116CC05
, 5F046AA28
, 5F046CA04
, 5F046CB02
, 5F046CB10
, 5F046CB12
, 5F046CB19
