特許
J-GLOBAL ID：200903031743168133
共焦点走査光学顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-284323
公開番号（公開出願番号）：特開平9-101460
出願日： 1995年10月06日
公開日（公表日）： 1997年04月15日
要約：
【要約】【目的】 波長可変の光源を用いることで、測定可能な対象の拡大及び測定範囲の拡大を可能とした。【構成】 波長可変レーザー101から出力されるコヒーレント光をビームスプリッタ/コンバイナ105で参照光と試料照射光に分岐し、試料照射光を試料上のピンスポットに集光する。試料上の該ピンスポットからの反射光と前記参照光をビームスプリッタ/コンバイナ105で合波干渉し、該干渉光を光検出器に導く。前記ピンスポットを試料上2次元的に走査するに際して、制御部112は前記干渉光の強度が極大値を保つよう波長可変レーザー101の波長を制御すると同時に、該波長をデータとして取得保存する。
請求項（抜粋）：
共焦点光学系を有する走査光学顕微鏡の内、光源の出力光を試料照射前に試料照射光と参照光に分岐する機構を有する送光光学系と、試料からの反射光または試料透過光と前記参照光とを合波干渉して干渉光を光検出器に導く受光光学系を有するタイプの共焦点走査光学顕微鏡において、光源の出力光の波長が可変であることを特長とする共焦点走査光学顕微鏡
引用特許：
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